[发明专利]曝光设备在审
| 申请号： | 201710145195.2 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106647192A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 朱美娜 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰,武岑飞 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种曝光设备，其特征在于，包括：多个平面曝光光罩和一个光源，所述光源与所述平面曝光光罩的平面中心的连线垂直于所述平面曝光光罩所在平面，且所述光源到各个平面曝光光罩的平面中心的距离相等。
2.根据权利要求1所述的曝光设备，其特征在于，所述多个平面曝光光罩彼此对应相连接，以合围形成一容置空间，所述光源设置于所述容置空间内。
3.根据权利要求1或2所述的曝光设备，其特征在于，所述多个平面曝光光罩为至少一种多边形平面曝光光罩。
4.根据权利要求3所述的曝光设备，其特征在于，所述多边形平面曝光光罩的形状为正多边形。
5.根据权利要求2所述的曝光设备，其特征在于，所述多个平面曝光光罩被制作成具有磁性，使所述多个平面曝光光罩在连接时通过磁性相互吸合。
6.根据权利要求2所述的曝光设备，其特征在于，彼此连接的两个平面曝光光罩之间通过结合件相连，所述结合件为卡榫结构、粘扣带结构或磁性体。
7.根据权利要求1或2所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光设备的外观形状选自正四面体、正六面体、正八面体、正十二面体、正二十面体及巴克球体中的一种。
8.根据权利要求1或2所述的曝光设备，其特征在于，所述光源为球面光源，且所述光源提供给各个平面曝光光罩的光量相同。
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