[发明专利]超声波器件、超声波模块及超声波测定装置

权利要求书

1.一种超声波器件，其特征在于，具备：

超声波换能器，具有振动膜，所述超声波换能器从所述振动膜的第一面一侧发送超声波；

声匹配层，设置于所述振动膜的所述第一面一侧；以及

声透镜，设置于所述声匹配层的与所述振动膜相反的一侧，

所述声匹配层由包括第一层和第二层的偶数层构成，所述第二层的声阻抗小于所述第一层和所述声透镜的声阻抗，所述第一层的声阻抗与所述第二层的声阻抗的差为0.1MRayl至1M Rayl，在所述声匹配层中，从所述振动膜朝所述声透镜依次配置所述第一层和所述第二层，

在将所述超声波的波长设为λ时，所述第一层和所述第二层具有λ/4的奇数倍的厚度。

2.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于，

所述声匹配层具有一层所述第一层和一层所述第二层。

3.一种超声波器件，其特征在于，具备：

超声波换能器，具有振动膜，所述超声波换能器从所述振动膜的第一面一侧发送超声波；

声匹配层，设置于所述振动膜的所述第一面一侧；以及

声透镜，设置于所述声匹配层的与所述振动膜相反的一侧，所述声匹配层由包括第一层和第二层的偶数层构成，所述第二层的声阻抗小于所述第一层和所述声透镜的声阻抗，所述第一层的声阻抗与所述第二层的声阻抗的差为0.1M Rayl至1M Rayl，在所述声匹配层中，从所述振动膜朝所述声透镜依次配置所述第一层和所述第二层，

所述声匹配层的声阻抗小于所述声透镜的声阻抗，并且，在将所述超声波的波长设为λ时，所述声匹配层具有λ/2的整数倍的厚度。

4.根据权利要求3所述的超声波器件，其特征在于，还具备：

中间层，所述中间层配置于所述声匹配层与所述声透镜之间，

所述中间层由包括第一中间层和第二中间层的偶数层构成，所述第一中间层的声阻抗大于所述声匹配层的声阻抗，所述第二中间层的声阻抗小于所述第一中间层和所述声透镜的声阻抗，在所述中间层中，从所述振动膜朝着所述声透镜依次配置所述第一中间层和所述第二中间层，

所述第一中间层和所述第二中间层具有λ/4的奇数倍的厚度。

5.根据权利要求4所述的超声波器件，其特征在于，

所述中间层具有一层所述第一中间层和一层所述第二中间层。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的超声波器件，其特征在于，

所述振动膜具有平面状的所述第一面，

所述声匹配层的所述振动膜一侧的面和所述声透镜一侧的面以及所述声透镜的所述声匹配层一侧的面平行于所述第一面。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的超声波器件，其特征在于，

所述超声波换能器具备压电元件，所述压电元件设置于所述振动膜的所述第一面相反侧的第二面一侧。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的超声波器件，其特征在于，

所述超声波换能器具有支撑所述振动膜的基板，

所述基板具有开口部，所述开口部由所述振动膜堵塞，并在与所述振动膜相反的一侧开口，

所述声匹配层的至少一部分配置于所述开口部内。

9.根据权利要求8所述的超声波器件，其特征在于，所述超声波器件还具备：

调整部件，所述调整部件配置于所述基板的所述声透镜一侧，用于调整所述声匹配层的厚度。