[发明专利]二维硒氧化铋晶体及近红外光电探测器件在审

专利信息
申请号: 201710056998.0 申请日: 2017-01-22
公开(公告)号: CN106783552A 公开(公告)日: 2017-05-31
发明(设计)人: 彭海琳;尹建波;谈振军;刘玉静;吴金雄 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L31/18;H01L31/032;H01L31/09
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 代理人: 关畅
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 二维 氧化 晶体 红外 光电 探测 器件
【权利要求书】:

1.一种制备二维硒氧化铋晶体的方法,包括如下步骤:

以Bi2O3粉末和Bi2Se3块体为原料,在基底上进行化学气相沉积,沉积完毕得到所述二维硒氧化铋晶体。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述基底为云母。

3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述Bi2O3粉末的粒径为10-50微米或30微米;

所述Bi2Se3块体中,最长边的长度为1-5厘米;

所述Bi2O3粉末与Bi2Se3块体的摩尔比为1~3:1。

4.根据权利要求1-3中任一所述的方法,其特征在于:所述化学气相沉积步骤中,载气为惰性气体或氩气;

体系压强为50-400torr或200torr;

沉积温度为570-680℃或630℃;

沉积时间为5-60分钟、20分钟或35分钟。

5.根据权利要求1-4中任一所述的方法,其特征在于:所述方法还包括如下步骤:在所述化学气相沉积步骤之后,将体系自然降温至室温。

6.权利要求1-5任一所述方法制备得到的二维硒氧化铋晶体。

7.权利要求6所述二维硒氧化铋晶体在制备光电探测器件、光电显示器件和/或光电成像器件中的应用;

含有二维硒氧化铋晶体的光电探测器件、光电显示器件和/或光电成像器件;

权利要求6所述二维硒氧化铋晶体在光电探测、光电显示和/或光电成像中的应用。

8.根据权利要求7所述的应用,其特征在于:所述光电探测器件为近红外光电探测器件;

所述光电显示器件为近红外光电显示器件;

所述光电成像器件为近红外光电成像器件;

所述光电探测为近红外光电探测;

所述光电显示为近红外光电显示;

所述光电成像为近红外光电成像;

所述制备步骤包括如下步骤:将所述二维硒氧化铋晶体进行等离子体轰击和刻蚀的步骤。

9.根据权利要求8所述的应用,其特征在于:所述等离子体轰击步骤中,所用等离子体为氧等离子体;

所述等离子体的流量为10-20sccm或15sccm;

轰击功率为30-60W或45W;

轰击时间为5s-20s。

10.根据权利要求8或9所述的应用,其特征在于:所述刻蚀为化学刻蚀;

所用刻蚀剂具体为由双氧水、浓硫酸和水组成的混合液或由体积比为1:2:4的双氧水、浓硫酸和水组成的混合液;

所述双氧水的质量百分浓度具体为30%;

所述浓硫酸的质量百分浓度具体为98%;

刻蚀的时间为5-30秒。

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