[发明专利]二维硒氧化铋晶体及近红外光电探测器件在审
申请号: | 201710056998.0 | 申请日: | 2017-01-22 |
公开(公告)号: | CN106783552A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 彭海琳;尹建波;谈振军;刘玉静;吴金雄 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L31/18;H01L31/032;H01L31/09 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司11245 | 代理人: | 关畅 |
地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二维 氧化 晶体 红外 光电 探测 器件 | ||
1.一种制备二维硒氧化铋晶体的方法,包括如下步骤:
以Bi2O3粉末和Bi2Se3块体为原料,在基底上进行化学气相沉积,沉积完毕得到所述二维硒氧化铋晶体。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述基底为云母。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述Bi2O3粉末的粒径为10-50微米或30微米;
所述Bi2Se3块体中,最长边的长度为1-5厘米;
所述Bi2O3粉末与Bi2Se3块体的摩尔比为1~3:1。
4.根据权利要求1-3中任一所述的方法,其特征在于:所述化学气相沉积步骤中,载气为惰性气体或氩气;
体系压强为50-400torr或200torr;
沉积温度为570-680℃或630℃;
沉积时间为5-60分钟、20分钟或35分钟。
5.根据权利要求1-4中任一所述的方法,其特征在于:所述方法还包括如下步骤:在所述化学气相沉积步骤之后,将体系自然降温至室温。
6.权利要求1-5任一所述方法制备得到的二维硒氧化铋晶体。
7.权利要求6所述二维硒氧化铋晶体在制备光电探测器件、光电显示器件和/或光电成像器件中的应用;
含有二维硒氧化铋晶体的光电探测器件、光电显示器件和/或光电成像器件;
权利要求6所述二维硒氧化铋晶体在光电探测、光电显示和/或光电成像中的应用。
8.根据权利要求7所述的应用,其特征在于:所述光电探测器件为近红外光电探测器件;
所述光电显示器件为近红外光电显示器件;
所述光电成像器件为近红外光电成像器件;
所述光电探测为近红外光电探测;
所述光电显示为近红外光电显示;
所述光电成像为近红外光电成像;
所述制备步骤包括如下步骤:将所述二维硒氧化铋晶体进行等离子体轰击和刻蚀的步骤。
9.根据权利要求8所述的应用,其特征在于:所述等离子体轰击步骤中,所用等离子体为氧等离子体;
所述等离子体的流量为10-20sccm或15sccm;
轰击功率为30-60W或45W;
轰击时间为5s-20s。
10.根据权利要求8或9所述的应用,其特征在于:所述刻蚀为化学刻蚀;
所用刻蚀剂具体为由双氧水、浓硫酸和水组成的混合液或由体积比为1:2:4的双氧水、浓硫酸和水组成的混合液;
所述双氧水的质量百分浓度具体为30%;
所述浓硫酸的质量百分浓度具体为98%;
刻蚀的时间为5-30秒。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造