[发明专利]液体喷射头制造方法

说明书

一种制造液体喷射头的方法，液体喷射头具有喷射口形成区域，喷射口形成区域包括：液体喷射能量生成元件，其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板第一表面上；多个液体供给口，各自贯穿基板且具有在第一表面处的开口；形成在第一表面上的液体路径，作为容纳液体喷射能量生成元件和液体供给口的空间；和喷射口，用于通过驱动液体喷射能量生成元件从液体路径喷射液体，方法包括：用第一干膜光阻在基板第一表面形成液体路径形成部件；在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件；在液体路径形成部件中形成液体路径；在喷射口形成部件中形成喷射口；基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔，每个假孔具有在基板第一表面处的开口。

技术领域

本发明涉及液体喷射头制造方法，液体喷射头将用于用墨或其它液体来进行可视记录。

背景技术

已知一种制造液体喷射头的方法，借助于干膜光阻在具有贯穿基板的通孔(供墨口)的基板上形成喷嘴(喷射口)(参见美国专利No.8083324的说明书)。利用上述方法，通过在具有通孔的基板上形成液体路径层以便覆盖住基板的台阶部，然后在其上形成孔板层，孔板层随后进行光刻等工艺处理，可以形成具有喷嘴的结构。

发明内容

本发明提供了一种制造液体喷射头的方法，液体喷射头具有喷射口形成区域，喷射口形成区域包括：液体喷射能量生成元件，其连同用于驱动液体喷射能量生成元件的电配线一起设置在基板的第一表面上；多个液体供给口，各自贯穿基板并且具有在基板的第一表面处的开口；液体路径，形成在第一表面上，作为容纳液体喷射能量生成元件和所述多个液体供给口的空间；和喷射口，用于通过驱动液体喷射能量生成元件而从液体路径喷射出液体，该方法包括：使用第一干膜光阻在基板的第一表面上形成液体路径形成部件的步骤；在液体路径形成部件上形成喷射口形成部件的步骤；在液体路径形成部件中形成液体路径的步骤；和在喷射口形成部件中形成喷射口的步骤，其中，基板具有在喷射口形成区域外的多个假孔，每个假孔具有在基板的第一表面处的开口。

从以下参照附图对示例性实施例的说明中将清楚本发明的其它特征。

附图说明

图1是可由根据本发明的制造方法制造的示例性液体喷射头的示意性透视图。

图2是可由根据本发明的制造方法制造的示例性液体喷射头的示意性剖视图。

图3A、3B、3C、3D、3E、3F和3G是由根据本发明的制造方法制造的示例性液体喷射头在不同制造步骤中的示意性剖视图。

图4是将要用于由根据本发明的制造方法制造的液体喷射头的示例性基板的俯视图。

图5A、5B和5C是借助于现有技术制造方法制造的示例性液体喷射头的示意性俯视图和剖视图。

具体实施方式

现在将参照附图详细描述本发明的优选实施例。

当如美国专利No.8083324中那样把多个液体供给口设置在基板的表面上且贯穿基板并且把干膜光阻转印到其上以便覆盖住基板的台阶部时，会出现如图5B中所示不能确保液体路径层(液体路径形成部件)21的表面平坦度的情况。更具体地，出现这种情况的原因是：在如图5A中所示并排设置的多个液体供给口11之中，如果与内部部分中的液体供给口11a(在内部部分中，每个液体供给口在四个方向上都具有相邻的液体供给口)相比，流化的光阻不容易流入设置在沿着边缘的边界部分中的液体供给口11b(通孔)中，从而难以确保对于液体路径层顶面的表面平坦度。此外，如图5C中所示，当在不能确保表面平坦度的液体路径层上形成孔板层(喷射口形成部件)31时，难以控制喷嘴高度(从基板上表面到每个喷射口顶端的高度之和，或液体路径高度和每个喷射口长度之和)。