[实用新型]一种用于硅片背面损伤设备的片盒架有效
申请号: | 201620462838.7 | 申请日: | 2016-05-20 |
公开(公告)号: | CN205770937U | 公开(公告)日: | 2016-12-07 |
发明(设计)人: | 王晓飞;李海涛;郭栋梁;彭建生 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料有限公司 |
主分类号: | B65D61/00 | 分类号: | B65D61/00 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人: | 狄干强 |
地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 硅片 背面 损伤 设备 片盒架 | ||
【权利要求书】:
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