[实用新型]气动悬浮式微球涂层装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及微层表面涂层材料的制备技术领域，且特别涉 及一种气动悬浮式微球涂层装置。

背景技术

在科研和生产活动中，需要制备微球表面的各种均匀涂层，比 如惯性约束聚变(ICF)物理实验中，需要在空心或实心微球表面制 备各种金属和非金属的均匀涂层材料，以实现科学研究的目的。

现有的微层涂层装置在进行微层涂层时，均匀性较差，而且不 能防止微球相互碰撞。另外，在涂层过程中，从靶枪上掉落的渣、 屑等会粘附在微球表面，形成异质晶核生长或被后续沉积的原子覆 盖在表面，这样微球表面的光洁度变差，尤其是在低工作气压下对 各种材质金属、陶瓷、塑料等微球进行溅射涂层时，光洁度很差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气动悬浮式微球涂层装置，其 通过微量高速气流，实现微球的悬浮和自由随机旋转，保证微球表 面均匀的涂层，避免微球之间的相互碰撞，并且可以去除从靶枪上 掉落的渣、屑等对微球的污染，提高微球表面的光洁度。

本实用新型是采用以下技术方案实现的：

一种气动悬浮式微球涂层装置，其特征在于，包括真空室、气 流板、多个靶枪和进气管，气流板设置于真空室内，多个靶枪具有 靶口，靶口位于气流板上方的真空室内并朝向气流板设置，气流板 具有上表面和下表面以及连接于上表面和下表面之间的第一侧面， 气流板设有贯通上表面的多个气流孔以及贯通第一侧面的多根导气 通道，多个气流孔分别与多根导气通道相连通，多根导气通道连通 进气管。

本实用新型实施例提供的气动悬浮式微球涂层装置的有益效果 是：

(1)通过进气管进气，并从气流孔向上吹出，微球在靶口与气 流孔之间悬浮和自由随机转动，从上方靶枪中喷出的涂料能均匀的 涂覆在微球表面，保证微球涂层的均匀性。

(2)气流孔吹出的向上气流会把从靶枪上掉落的渣或屑向上吹 出，防止其沾染在微球上，影响微球表面的光洁度。

(3)当气流向上流动并扩散时，从气流孔中溢出的气流在向上 溢出时，受到微球阻挡，气流会沿微球的球面向外逸出，相当于在 微球与气流孔的孔壁间形成一道气垫，阻止微球与气流孔将发生碰 撞，约束了微球的运动空间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实 施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示 出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定， 对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还 可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型实施例1和2提供的气动悬浮式微球涂层装 置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例1和2提供的气动悬浮式微球涂层装 置中气流板的结构示意图；

图3是本实用新型实施例2和3提供的气动悬浮式微球涂层装 置中气流板的俯视图；

图4是本实用新型实施例3提供的气动悬浮式微球涂层装置的 结构示意图；

图5是本实用新型实施例3提供的气动悬浮式微球涂层装置中 气流孔的结构示意图。

图中标记分别为：

气动悬浮式微球涂层装置100；真空室101；真空泵102；进气 管110；第一管段111；第二管段112；导气孔115；靶枪120；靶 口121；气流板130；上表面130a；下表面130b；第一侧面130c； 第二侧面130d；气流孔131；喇叭口132。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下 面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技 术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新 型一部分实施例，而不是全部的实施例。因此，以下对在附图中提 供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实 用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实 用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前 提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1