[发明专利]柔性OLED显示面板的制作方法有效
申请号: | 201611185420.7 | 申请日: | 2016-12-20 |
公开(公告)号: | CN106711355B | 公开(公告)日: | 2018-07-10 |
发明(设计)人: | 余威 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00;H01L51/52 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;闻盼盼 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 刚性基板 挡墙 有机材料薄膜 镭射切割机 面板区域 衬底 制程 激光剥离 镭射切割 制造成本 面涂布 制作 切割 剥离 分割 节约 | ||
本发明提供一种柔性OLED显示面板的制作方法,通过在刚性基板上首先形成数圈无机挡墙,所述数圈无机挡墙在刚性基板上围出数个面板区域,从而在所述刚性基板与数圈无机挡墙上整面涂布有机材料薄膜时,可以利用数圈无机挡墙的分割作用,直接在刚性基板的数个面板区域上分别形成数个柔性衬底,后续采用激光剥离技术将所述数个柔性衬底从刚性基板上剥离后,即可得到数个柔性OLED显示面板,与现有技术相比,本发明省去了采用镭射切割机台对有机材料薄膜与刚性基板同时进行切割的制程,节省了镭射切割机台的购置成本同时节约了一道镭射切割制程,从而降低了柔性OLED显示面板的制造成本。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性OLED显示面板的制作方法。
背景技术
有机发光二极管显示装置(Organic Light Emitting Display,OLED)具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽,可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点,被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。
OLED按照驱动方式可以分为无源矩阵型OLED(Passive Matrix OLED,PMOLED)和有源矩阵型OLED(Active Matrix OLED,AMOLED)两大类,即直接寻址和薄膜晶体管矩阵寻址两类。其中,AMOLED具有呈阵列式排布的像素,属于主动显示类型,发光效能高,通常用作高清晰度的大尺寸显示装置。
OLED器件通常包括:基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极。OLED器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下,通过载流子注入和复合导致发光。具体的,OLED器件通常采用氧化铟锡(ITO)电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极,在一定电压驱动下,电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层,电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层,并在发光层中相遇,形成激子并使发光分子激发,后者经过辐射弛豫而发出可见光。
基于OLED的平板显示及照明领域近年来受到科研和学术界的广泛关注。尤其是最近几年以来,具有广阔前景的柔性OLED显示面板已经崭露头角,成为各大面板厂商竞争的焦点。
目前主流的柔性OLED显示面板的制作方法是:以玻璃基板为载体,在整面玻璃基板上涂布一层聚酰亚胺(PI)膜,对PI膜进行固化,PI膜充当柔性基板,然后在固化的PI膜上制作水氧阻隔层,然后从水氧阻隔层往上依次制作薄膜晶体管(TFT)层、OLED器件层和薄膜封装层,如此即制得柔性OLED显示母板。通过切割将柔性OLED显示母板制作成各柔性OLED显示面板,因玻璃基板上附着有整面的PI膜,所以无法使用传统的刀轮切割机进行切割,需要使用昂贵的镭射切割机才能将玻璃基板和PI膜同时切开,切割完成后通过激光剥离(Laser lift off,LLO)机台将PI膜与玻璃基板分离,即得到柔性OLED显示面板。但是,上述制程中使用的镭射切割机台价格昂贵且能量均一性需要进行严格控制,从而增加了制造成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性OLED显示面板的制作方法,能够节省镭射切割机台的购置成本同时节约一道镭射切割制程,从而降低了柔性OLED显示面板的制造成本。
为实现上述目的,本发明提供一种柔性OLED显示面板的制作方法,包括如下步骤:
步骤1、提供一刚性基板,在所述刚性基板上形成间隔设置的数圈无机挡墙,所述数圈无机挡墙在所述刚性基板上围出数个面板区域;
步骤2、在所述刚性基板与数圈无机挡墙上整面涂布有机材料薄膜,在数圈无机挡墙的分割作用下,所述有机材料薄膜上位于所述刚性基板的数个面板区域上的部分分别形成数个柔性衬底;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
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