[发明专利]柔性OLED显示面板的制作方法

权利要求书

1.一种柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供一刚性基板(10)，在所述刚性基板(10)上形成间隔设置的数圈无机挡墙(20)，所述数圈无机挡墙(20)在所述刚性基板(10)上围出数个面板区域(11)；

步骤2、在所述刚性基板(10)与数圈无机挡墙(20)上整面涂布有机材料薄膜(30)，在数圈无机挡墙(20)的分割作用下，所述有机材料薄膜(30)上位于所述刚性基板(10)的数个面板区域(11)上的部分分别形成数个柔性衬底(31)；

步骤3、在所述数个柔性衬底(31)上分别形成数个水氧阻隔层(40)，在数个水氧阻隔层(40)上分别从下到上依次制作薄膜晶体管层(50)与OLED器件层(60)，对所述薄膜晶体管层(50)与OLED器件层(60)进行封装，形成位于所述OLED器件层(60)与水氧阻隔层(40)上的数个薄膜封装层(70)，每个薄膜封装层(70)包覆位于其下方的OLED器件层(60)与薄膜晶体管层(50)，从而在刚性基板(10)上形成分别位于数圈无机挡墙(20)内的数个柔性OLED显示面板(80)；

步骤4、采用激光剥离技术将所述数个柔性衬底(31)分别从所述刚性基板(10)上剥离，得到数个柔性OLED显示面板(80)；

所述数圈无机挡墙(20)的材料包括氧化硅、氮化硅、及氮氧化硅中的至少一种。

2.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述刚性基板(10)为玻璃基板。

3.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述数圈无机挡墙(20)的材料为氧化硅，所述数圈无机挡墙(20)的制备方法为：提供玻璃胶，所述玻璃胶包括氧化硅与溶剂，采用丝网印刷工艺在所述刚性基板(10)上涂布数圈玻璃胶，加热固化后得到数圈无机挡墙(20)。

4.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述步骤2中，所述有机材料薄膜(30)为聚酰亚胺薄膜。

5.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述柔性衬底(31)的厚度小于所述无机挡墙(20)的高度。

6.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述水氧阻隔层(40)的面积小于或者等于所述柔性衬底(31)的面积，同时大于所述OLED器件层(60)与薄膜晶体管层(50)的面积。

7.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述水氧阻隔层(40)与薄膜封装层(70)分别包括层叠且交替设置的多个无机物层(41)与有机物层(42)。

8.如权利要求7所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述无机物层(41)的材料包括氧化硅、氮化硅、及氮氧化硅中的至少一种；所述有机物层(42)的材料包括丙烯酸脂、六甲基二甲硅醚、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂、及聚苯乙烯中的一种或多种。

9.如权利要求1所述的柔性OLED显示面板的制作方法，其特征在于，所述柔性OLED显示面板(80)包括柔性衬底(31)、在所述柔性衬底(31)上从下到上依次层叠设置的水氧阻隔层(40)、薄膜晶体管层(50)与OLED器件层(60)、以及设于所述OLED器件层(60)与水氧阻隔层(40)上的薄膜封装层(70)，所述薄膜封装层(70)包覆位于其下方的OLED器件层(60)与薄膜晶体管层(50)。