[发明专利]一种特气分配箱及其零件更换方法

说明书

本发明涉及一种特气分配箱及其零件更换方法，包括氮气处理管路，利用氮气处理管路中高速流动的氮气产生虹吸负压，抽取待更换零件所在管路内部的特气，氮气主管路再向待更换零件所在管路内部灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，再更换待更换零件；用氮气处理管路替代现有技术中的外接抽气泵和尾气处理系统，有效避免受现场空间和环境的影响及厂务安排的制约，且零件更换操作简单安全，成功率高。

技术领域

本发明涉及工艺制程领域，特别涉及一种特气分配箱及其零件更换方法。

背景技术

在诸如半导体工艺制程中会使用到易燃易爆、有毒有害、腐蚀性等各类特气，如甲硅烷、氨气和氯气等。机台使用的特气是由厂务端经过中央供气系统输送过来的，从厂务端输送过来的一条特气管路并非单独给某一个机台供气，而是同时给多个机台供气。特气分配箱就是用来将一个主管路分配成几个支管路，以此来实现同时给多个机台供气。

特气分配箱中零件，如手动阀和气动阀的作用是实现特气的开启与关停，它们的质量对特气的运转状况是否平稳起到至关重要的作用，当手动阀或气动阀需要关停，却关不死，出现内漏；或特气管路内的特气泄露到特气分配箱，出现外漏时，就需要对相应管路的手动阀或气动阀进行更换。现有零件更换方法通常为外接抽气泵和尾气处理系统，与特气分配箱内的氮气管路相配合，抽气泵将待更换零件的相应管路中的特气抽取到尾气处理系统，氮气管路再向此管路灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，才更换相应的零件。但是，此种方法外接抽气泵和尾气处理系统受现场空间和环境的影响，还受到厂务安排的制约，如果尾气处理系统距离特气分配箱距离较远，还需添加配管，因此，操作性极差。

发明内容

本发明目的是提供一种特气分配箱及其零件更换方法，解决现有技术中存在的上述问题。

本发明解决上述技术问题的技术方案如下：

一种特气分配箱，包括第一特气主管路，所述第一特气主管路的一端用于与特气供应系统连接，另一端分别与至少两个特气支管路的一端连接，每个所述特气支管路的另一端分别用于与待供气机台连接；所述第一特气主管路上设置有第一特气主管路阀，每个所述特气支管路上沿特气供应方向依次设置有第一特气支管路阀和第二特气支管路阀；每个所述特气支管路位于所述第一特气支管路阀和第二特气支管路阀之间的部分连接有第一氮气支管路，每个所述第一氮气支管路相对所述特气支管路的另一端均与氮气主管路的一端连接，所述氮气主管路的另一端用于与氮气供应系统连接，每个所述第一氮气支管路上设置有第一氮气支管路阀；还包括氮气处理管路，所述氮气处理管路的一端用于与氮气供应系统连接，另一端用于与尾气处理系统连接；每个所述特气支管路位于所述第一特气支管路阀和第二特气支管路阀之间的部分还连接有第二氮气支管路，每个所述第二氮气支管路相对所述特气支管路的另一端均与所述氮气处理管路位于氮气供应系统和尾气处理系统之间的部分连接，每个所述第二氮气支管路上设置有第二氮气支管路阀，每个所述第二氮气支管路位于特气支管路和第二氮气支管路阀之间的部分设置有第一压力传感器。

本发明的有益效果是：利用氮气处理管路中高速流动的氮气产生虹吸负压，抽取待更换零件所在管路内部的特气，氮气主管路再向待更换零件所在管路内部灌入氮气，抽取与灌入重复多次，直至此管路中特气浓度趋近于零时，再更换待更换零件；用氮气处理管路替代现有技术中的外接抽气泵和尾气处理系统，有效避免受现场空间和环境的影响及厂务安排的制约，且零件更换操作简单安全，成功率高。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。

进一步，所述氮气处理管路上设置有氮气处理管路阀。

采用上述进一步方案的有益效果是：对氮气处理管路中氮气的流动进行控制，当无零件更换时，关闭氮气处理管路阀，避免氮气的浪费。

进一步，所述氮气主管路上设置有氮气主管路阀。