[发明专利]一种特气分配箱及其零件更换方法有效

专利信息
申请号: 201611162195.5 申请日: 2016-12-15
公开(公告)号: CN106764436B 公开(公告)日: 2018-09-07
发明(设计)人: 周成志 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: F17D1/04 分类号: F17D1/04;F17D3/01
代理公司: 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 代理人: 杨立;陈璐
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 特气 氮气 氮气处理 更换零件 零件更换 分配箱 灌入 抽取 尾气处理系统 虹吸负压 简单安全 现场空间 抽气泵 中高速 主管路 零时 外接 成功率 替代 重复 流动 制约
【权利要求书】:

1.一种特气分配箱,其特征在于,包括第一特气主管路(1),所述第一特气主管路(1)的一端用于与特气供应系统连接,另一端分别与至少两个特气支管路(2)的一端连接,每个所述特气支管路(2)的另一端分别用于与待供气机台连接;所述第一特气主管路(1)上设置有第一特气主管路阀(11),每个所述特气支管路(2)上沿特气供应方向依次设置有第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22);每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分连接有第一氮气支管路(31),每个所述第一氮气支管路(31)相对所述特气支管路(2)的另一端均与氮气主管路(3)的一端连接,所述氮气主管路(3)的另一端用于与氮气供应系统连接,每个所述第一氮气支管路(31)上设置有第一氮气支管路阀(311);还包括氮气处理管路(4),所述氮气处理管路(4)的一端用于与氮气供应系统连接,另一端用于与尾气处理系统连接;每个所述特气支管路(2)位于所述第一特气支管路阀(21)和第二特气支管路阀(22)之间的部分还连接有第二氮气支管路(41),每个所述第二氮气支管路(41)相对所述特气支管路(2)的另一端均与所述氮气处理管路(4)位于氮气供应系统和尾气处理系统之间的部分连接,每个所述第二氮气支管路(41)上设置有第二氮气支管路阀(411),每个所述第二氮气支管路(41)位于特气支管路(2)和第二氮气支管路阀(411)之间的部分设置有第一压力传感器(412)。

2.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述氮气处理管路(4)上设置有氮气处理管路阀(42)。

3.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述氮气主管路(3)上设置有氮气主管路阀(32)。

4.根据权利要求3所述一种特气分配箱,其特征在于,所述氮气主管路(3)位于氮气主管路阀(32)和第一氮气支管路(31)之间的部分设置有第二压力传感器(33)。

5.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气主管路阀(11)包括分别设置在第一特气主管路(1)上的手动阀和气动阀。

6.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气支管路阀(21)为气动阀。

7.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第二特气支管路阀(22)、第一氮气支管路阀(311)和第二氮气支管路阀(411)均为手动阀。

8.根据权利要求1所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气主管路(1)位于所述第一特气主管路阀(11)和特气支管路(2)之间的部分设置有第三压力传感器(12)。

9.根据权利要求1至8任一所述一种特气分配箱,其特征在于,所述第一特气主管路(1)位于其用于与特气供应系统连接的一端和所述第一特气主管路阀(11)之间的部分设置有第二特气主管路阀(13),且位于所述第一特气主管路阀(11)和第二特气主管路阀(13)之间连接有第二特气主管路(5),所述第二特气主管路(5)相对于所述第一特气主管路(1)的另一端用于与其它特气分配箱连接,且所述第二特气主管路(5)上设置有第三特气主管路阀(51)。

10.一种特气分配箱的零件更换方法,其特征在于,采用权利要求1至9任一所述一种特气分配箱实现零件更换,包括如下步骤:

步骤1,关闭待更换零件所在管路相应管路阀,使所述待更换零件所在的管路两端密闭,所述两端的内部管路导通,且所述内部管路至少连接有一个第一氮气支管路(31)和一个第二氮气支管路(41);

步骤2,待氮气处理管路(4)中的气体流动稳定后,打开所述第二氮气支管路(41)上的第二氮气支管路阀(411)产生虹吸负压,通过所述第二氮气支管路(41)抽取所述内部管路中的气体;

步骤3,待所述第二氮气支管路(41)上的第一压力传感器(412)的压力示数变小且稳定,关闭所述第二氮气支管路阀(411);

步骤4,打开所述第一氮气支管路(31)上的第一氮气支管路阀(311),氮气主管路(3)中的氮气通过所述第一氮气支管路(31)通入所述内部管路中;

步骤5,待所述第一压力传感器(412)的压力示数变大且稳定,关闭所述第一氮气支管路阀(311);

步骤6,判断所述内部管路中特气浓度是否趋于零;是,则执行步骤7,反之,返回执行步骤2;

步骤7,更换所述待更换零件;

步骤8,打开所述第一氮气支管路(31)上的第一氮气支管路阀(311),氮气主管路(3)中的氮气通过所述第一氮气支管路(31)通入所述内部管路中,待所述第一压力传感器(412)的压力示数变大且稳定,关闭所述第一氮气支管路阀(311),如果,在预设时间内,所述第一压力传感器(412)的压力示数在预设幅度内变化,则保压测试合格,执行步骤10;反之,则保压测试不合格,执行步骤9;

步骤9,检查更换所述待更换零件时拆装的接头部分,并更换对应的密封器件,返回执行步骤8;

步骤10,重复执行步骤2至步骤5,待所述内部管路中氮气浓度趋于100%时停止,打开步骤1中关闭的相应管路阀,恢复特气供应。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司,未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611162195.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top