[发明专利]一种特气架、监控特气架的方法及装置有效

专利信息
申请号: 201210262771.9 申请日: 2012-07-26
公开(公告)号: CN103574281A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 李露;贾文君 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: F17C5/00 分类号: F17C5/00;F17C13/02;F17C13/04
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种特气架、监控特气架的方法和装置,涉及特气架技术领域,解决了现有技术中当特气架中的设备部件出现异常时,不能及时地给出提示信息,所述方法包括:接收LPG发送的低压报警信号,所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常,所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息;根据所述低压报警信号中的标识信息,确定所述LPG所属的特气架;提示所述特气架出现异常。本发明实施例适用于对特气架的监控过程中。
搜索关键词: 一种 特气架 监控 方法 装置
【主权项】:
一种特气架,包括至少两套气体钢瓶和阀组面盘,一套气体钢瓶对应一套阀组面盘,所述阀组面盘由至少一路供气管路、吹扫管路和抽真空管路构成,所述供气管路由气体钢瓶出口通过管路依次连接所述气体钢瓶出口高压压力表HPG、气动隔膜阀HPI、减压阀REG、气体输送低压压力表LPG、过滤器LF、送气隔膜阀MIV接入供气口,其特征在于,所述气体输送低压压力表LPG为带电接点信号输出的低压压力表。
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