[发明专利]具有过压保护的压力传感器隔膜

说明书

一种压力传感器，包括：基部，具有至少一个高压接触部分；以及隔膜，被定位于基部上方，并且具有背离基部的外部顶表面和面向基部的内表面。内表面包括围绕内部的凸起的周边，在内部内的凸起的中心隆起，以及凸起的隆起臂，所述凸起的隆起臂与凸起的周边邻接并从凸起的周边朝向内部延伸。在过压事件期间，凸起的隆起臂和凸起的中心隆起中的至少一个与基部的高压接触部分对准并接触。

技术领域

本公开涉及压力传感器。特别地，本公开涉及具有过压保护的压力传感器。

背景技术

在许多压力传感器中，柔性隔膜响应于施加到隔膜顶部的压力相对于基部移动。响应于施加的压力提供可重复单调运动的隔膜是优选的。结果，晶体隔膜，诸如由晶体硅制成的隔膜已被广泛采用，因为它们响应于所施加的压力而提供单调运动，并且通常没有滞后效应。不幸的是，具有这种晶体结构的传感器具有有限的过压能力，并且传感器隔膜上的过度压力可能导致超过结晶结构的最大断裂强度的大拉伸应力。这种传感器中的故障倾向于是灾难性的，常常导致完全破碎的结构。

上面的讨论仅被提供用于一般背景信息，不意在用作帮助确定请求保护的主题的范围。所请求保护的主题不限于解决了背景技术中记载的任何或所有缺点的实施方式。

发明内容

一种压力传感器，包括：基部，具有至少一个高压接触部分；以及隔膜，被定位于基部上方，并且具有背离基部的外部顶表面和面向基部的内表面。内表面包括围绕内部的凸起的周边，在内部内的凸起的中心隆起，以及凸起的隆起臂，所述凸起的隆起臂与凸起的周边邻接并从凸起的周边朝向内部延伸。在过压事件期间，凸起的隆起臂和凸起的中心隆起中的至少一个与基部的高压接触部分对准并接触。

在另一实施例中，一种传感器包括基部和具有安装在基部上的凸起的周边的隔膜。隔膜还包括在凸起的周边的内部内的凸起的中心隆起，在凸起的中心隆起和凸起的周边之间的至少一个凹部，以及与凸起的中心隆起邻接并从凸起的中心隆起延伸的至少一个凸起的隆起臂。

在又另一实施例中，压力传感器包括基部和安装在基部上的隔膜。隔膜包括限定第一内部角部的第一凹部和限定第二内部角部的第二凹部。第一内部角部通过凸起的隆起与第二内部角部分离，所述凸起的隆起的宽度等于在第一内部角部和第二内部角部之间的距离。

提供了本发明内容以介绍下面在详细描述中进一步描述的简化形式的理念的选择。本发明内容不意在标识所请求保护的主题的关键特征或基本特征，也不意在用作帮助确定所请求保护的主题的范围。

附图说明

图1是压力传感器的实施例的底部透视图。

图2是图1的压力传感器的顶部透视图。

图3是根据一个实施例的压力传感器的截面侧视图。

图4是根据第二实施例的压力传感器的截面侧视图。

图5是根据第一实施例的隔膜的底视图。

图6是根据第二实施例的隔膜的底视图。

图7是根据第三实施例的隔膜的底视图。

图8是根据第四实施例的隔膜的底视图。

图9是根据第五实施例的隔膜的底视图。

图10是其中可以利用实施例的工业过程控制系统的一部分的简化图。

具体实施方式