[发明专利]具有过压保护的压力传感器隔膜

权利要求书

1.一种压力传感器，包括：

基部，具有至少一个高压接触部分；

隔膜，定位在基部上方并且具有背离基部的外部顶表面和面向基部的内表面，内表面包括围绕内部的凸起的周边、在内部内的凸起的中心隆起、以及与凸起的周边邻接并从凸起的周边朝向内部延伸的凸起的隆起臂；

感测元件，耦合到隔膜并基于隔膜的变化来提供输出；

其中，在过压事件期间，凸起的隆起臂和凸起的中心隆起中的至少一个与基部的高压接触部分对准并接触，

其中，凸起的隆起臂在凸起的隆起臂的第一端处与周边邻接，并且在凸起的隆起臂的第二端处与另一个凸起特征邻接，或者在所述第二端处与其他凸起特征分离，并且当所述凸起的隆起臂在所述第二端处与另一个凸起特征邻接时，所述凸起的隆起臂包括在所述隆起臂的所述第一端和所述第二端之间的至少一个弯部。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其中，与隆起臂的第二端邻接的凸起特征是周边的第二部分。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其中与隆起臂的第二端邻接的凸起特征是凸起的中心隆起。