[发明专利]一种Ti合金工件防咬死的方法

权利要求书

1.一种Ti合金工件防咬死的方法，其特征在于：步骤一、先用汽油和有机溶剂对Ti合金工件进行超声去油清洗，然后用氩气吹干；将真空室内部所有零件用无水乙醇擦洗后，然后吹干；步骤二、将工件安装在真空室内的工件架上，并使工件能够在真空室内实现公转和自转；步骤三、关闭真空室，开始抽真空，当真空度优于5×10^-2 Pa时，开启加热电源进行加热烘烤，直至加热温度达到300℃，同时真空度达到5.0×10^-3 Pa时，达到真空室内部和真空室内部工件除气的要求，本步骤结束；步骤四、当温度控制在300℃时，向真空室中充氩气，真空度控制在0.4-0.6Pa，开启霍尔离子源电源，功率为1000W；然后再开启直流叠加脉冲偏压电源，脉冲偏压为1000V，占空比为80％；用离子束溅射清洗15分钟，去除工件表面吸附杂质和表面Ti氧化层，并进行表面活化；步骤五、真空室内的真空度维持不变，开启Ti电弧靶电源，对工件表面进行轰击清洗，形成混合层；电弧靶电源的电流75A，开启直流叠加脉冲偏压电源，脉冲电压为800V，调节占空比为80％，直流电压为180V，轰击清洗10分钟；步骤六、真空室内的真空度维持不变，电弧靶电源的电流不变；直流叠加脉冲偏压电源的脉冲和直流电压不变，将占空比调节为20％，沉积一层Ti作为过渡层，厚度为200nm；步骤七、真空室内的真空度维持不变，将氩气改为氮气，直流叠加脉冲偏压电源的脉冲和直流偏压分别调节为600V和60V，占空比调节为15％，然后开启霍尔离子源和中频磁控溅射电源沉积TiN涂层，厚度为800nm；步骤八、重复步骤六、步骤七，循环六次；其中第六个循环中，TiN制备时间延长；步骤九、镀膜工艺结束后，继续向真空室中充入氩气，待工件温度低于100℃后即可开真空室取工件。

2.如权利要求1所述的一种Ti合金工件防咬死的方法，其特征在于：所述步骤七中沉积TiN涂层的厚度，针对不同的工件及工作条件需求调节涂层厚度。

3.如权利要求1所述的一种Ti合金工件防咬死的方法，其特征在于：所述第步骤八中，第六次循环形成的第六层TiN涂层厚度为1μm。