[发明专利]一种高光效发光二极管在审
申请号: | 201611138225.9 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN108231970A | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 王波 | 申请(专利权)人: | 王波 |
主分类号: | H01L33/22 | 分类号: | H01L33/22;H01L33/10;H01L33/16 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 韩雪 |
地址: | 613100 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 高光效 外延结构层 电流积聚 导电层 反光层 嵌入 衬底上表面 多量子阱层 光提取效率 光子晶体层 由上到下 表面镀 出射光 硅衬底 晶体层 上表面 双光子 吸收量 电极 凹形 衬底 辐射 生长 | ||
本发明公开了一种高光效发光二极管,其特征在于:包括硅衬底,所述衬底上表面生长有外延结构层,所述外延结构层由上到下依次包括p‑GaN层、多量子阱层、n‑GaN层,所述n‑GaN层下设有凹形的反光层,所述反光层与衬底连接;所述p‑GaN层和n‑GaN层中分别嵌入光子晶体层;所述p‑GaN层表面镀有导电层,导电层的上表面设有沟槽,所述沟槽与P电极连接;所述n‑GaN层上设有凹槽,凹槽与N电极连接。本发明高光效发光二极管,能够降低电极下方的电流积聚度,减少电流积聚产生的热量,减少P电极对出射光的吸收量,同时在p‑GaN层和n‑GaN层中嵌入双光子晶体层,能够控制辐射的方向,具有很高的光提取效率。
技术领域
本发明涉及发光二极管领域,尤其是一种高光效发光二极管。
背景技术
对发光二极管来说,电流扩散会影响光提取率的提升,由于电流积聚效应,电流集中在电极下方,横向扩展小,电流分布不均匀,导致局部电流密度过大,热量过高,降低了二极管芯片的使用寿命,同时电极还会阻挡光,吸收出射光,降低出光效率;而且在发光二极管中有些辐射光不能从半导体表面射出,而在内部形成导膜,限制了出光提取效率。
发明内容
本发明的发明目的在于:针对上述存在的问题,提供一种能够降低电流积聚度,减少电流积聚产生的热量,减少电极对出射光的吸收量,提高出光效率,以及在p-GaN层和n-GaN层中嵌入双光子晶体层,能够控制辐射的方向,提高对光的提取效率的高光效发光二极管。
本发明采用的技术方案如下:
本发明一种高光效发光二极管,包括硅衬底,所述衬底上表面生长有外延结构层,所述外延结构层由上到下依次包括p-GaN层、多量子阱层、n-GaN层,所述n-GaN层下设有凹形的反光层,所述反光层与衬底连接;所述p-GaN层和n-GaN层中分别嵌入光子晶体层;所述p-GaN层表面镀有导电层,导电层的上表面设有沟槽,所述沟槽与P电极连接;所述n-GaN层上设有凹槽,凹槽与N电极连接。
以上结构,在P电极下方设有沟槽,能够起到阻挡电流的作用,同时增加了电极和导电层的接触面积,降低P电极下方的电流积聚度,使P电极注入的电流横向扩展到别的地方,减少电流积聚产生的热量,提高芯片的热稳定性,而且沟槽上的反射层,能够减少P电极对出射光的吸收量,提高出光效率。
本发明一种高光效发光二极管,所述光子晶体层中的光子晶体的晶格常数为200nm;所述n-GaN层中光子晶体层到反光层的距离为150nm,刻蚀深度为90nm;所述p-GaN层到导电层的距离为140nm, 刻蚀深度为100nm。
以上结构,p-GaN层和n-GaN层中刻蚀光子晶体,能够控制辐射的方向,把尽可能多的辐射能量汇聚到法向小的提取角锥内,提高对光的提取效率,而将光子晶体嵌入p-GaN层和n-GaN层中可以具有更强的耦合效果,耦合出被限制在波导内的导膜,等效于嵌入低折射率层,把更多的能量向出光面局限,提高光提取效率。
本发明一种高光效发光二极管,所述导电层为ITO透明氧化层。
本发明一种高光效发光二极管,所述沟槽为两端凸出导电层上表面,中间有呈凹形,与凸形P电极配合连接。所述沟槽的表面上设有反射层,不仅有反射光的作用,同时可以进行电流阻挡,降低电极对光的吸收率,提高光提取效率。
本发明一种高光效发光二极管,所述n-GaN层的上表面一端与多量子阱层连接,另一端裸露,其上有凹槽缺口,与凸形N电极配合连接。
本发明一种高光效发光二极管,:所述反光层为二氧化硅薄膜,其厚度为500微米;所述P电极和N电极分别采用Cu和Cr。
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