[发明专利]一种多晶硅的提纯方法有效
申请号: | 201611137128.8 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN106587070B | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 刘振东;李现常;翟亚芳;刘照亮 | 申请(专利权)人: | 安阳工学院 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 郑州立格知识产权代理有限公司 41126 | 代理人: | 王晖 |
地址: | 455000 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 提纯 方法 | ||
一种多晶硅的提纯方法,包括以下步骤:A:将原料多晶硅研磨至粒度为36‑260μm;B:将研磨后的多晶硅在氩气保护下以5℃/min的速度从室温煅烧至1050±5℃,再以1℃/min速度继续加热至1250±5℃然后将硅在冷水中快速淬火至室温,金属硅表面出现炸纹;C:将淬火后的多晶硅在酸洗液中酸洗;然后过滤多晶硅,再用去离子水冲洗至中性,得提纯后的多晶硅。采用本方法对多晶硅结构型杂质和粘附性杂质移除率高。多晶硅酸洗后的废液可以作为化工原料循环使用,不破坏环境。
技术领域
本发明涉及一种硅的提纯方法,特别涉及一种多晶硅的提纯方法,属于化学技术领域。
背景技术
多晶硅是太阳能电池生产的重要原材料,要求其纯度在5-6N数量级。物理法提纯多晶硅,投资少,见效快,对环境友好,是一种有前途的多晶硅提纯技术。物理法提纯多晶硅包括酸洗法、合金法、真空熔炼法、定向凝固法、造渣法和电解法等,其中酸洗法以其能量消耗少,提纯效率高,工艺简单,生产成本低廉而被逐渐推广使用。多晶硅杂质分为粘附型杂质和结构型杂质两类。粘附性杂质一般为金属氧化物或金属硅化物,多位于多晶硅晶界处,采用酸洗法和定向凝固法很容易将其移除。结构型杂质主要指P和B两种元素,它们与Si结成共价键熔于多晶硅晶格中,与硅共同形成晶体。P和B是多晶硅中最难移除的两种元素,尤其是B,分凝系数比较大,与硅相比,饱和蒸汽压比较低,采用定向凝固法和普通的酸洗法很难将其从硅中移除。造渣法提纯多晶硅中的硼,程序繁琐,能量消耗高,需要技术改进。
发明内容
本发明的目的在于克服目前的现有多晶硅提纯中存在的上述问题,提供一种多晶硅的提纯方法。
为实现本发明的目的,采用了下述的技术方案:一种多晶硅的提纯方法,包括以下步骤:
A:将原料多晶硅研磨至粒度为36-260μm;
B:将研磨后的多晶硅在氩气保护下以5℃/min的速度从室温煅烧至1050±5℃,保持0.5h;再以1℃/min速度继续加热至1250±5℃,保持0.5h,加热的同时不断抽气,然后将硅在冷水中快速淬火至室温,金属硅表面出现炸纹;
C:将淬火后的多晶硅在酸洗液中酸洗,酸洗工艺为:
C1:酸洗液配制,按照摩尔比氢氟酸8-10份:硝酸8-10份:去离子水70-75份配制酸洗液;
C2:将淬火后的多晶硅投入酸洗液中酸洗2-2.5小时,投入多晶硅的质量为酸洗液质量的3.5-7%酸洗液温度50℃-75℃,磁子搅拌速度为1500r/min;
C3:加入络合剂酸洗,在步骤C2完成后,在多晶硅和酸洗液的混合体系中加入络合剂,加入络合剂的摩尔数为氢氟酸摩尔数的0.4-0.6倍; 所述的络合剂为山梨醇或卫茅醇或甘露醇或β-D呋喃果糖;继续酸洗3-5h,然后过滤多晶硅,再用去离子水冲洗至中性,得提纯后的多晶硅,进一步的,步骤B中将研磨后的多晶硅在氩气保护下煅烧温度至650±45℃至时向煅烧炉内滴入甲醇,滴入甲醇的速度为每100g多晶硅滴加量为50滴/min,直至煅烧结束,进一步的,步骤B中的冷水采用0℃的冰水混合物,进一步的,所述酸洗液采用以下摩尔比的物质配制而成:氢氟酸10份,硝酸9份,去离子水73份。
本发明的积极有益技术效果在于:用酸洗法提纯多晶硅,生产工艺简单,能量消耗少,本工艺虽然加热温度达到1250℃,但因其在1050℃以上温度煅烧时放热,实际能量消耗并未增加多少,这个过程能使多晶硅中的杂质元素充分扩散至多晶硅晶界处,同时不断抽气,多晶硅中部分挥发性杂质,例如P,从多晶硅中移出。采用本酸洗工艺在先酸洗1.5-2.5h后加入络合剂对多晶硅结构型杂质和粘附性杂质移除率高。滴加甲醇产生的水蒸气能够对多晶硅中杂质硼元素进一步净化,滴加甲醇产生的氢气能够占据对多晶硅中的空位键,防止与杂质的结合,再对酸洗后的多晶硅再定向凝固,拉制的单晶硅铸锭纯度完全满足太阳能电池的需求。多晶硅酸洗后的废液可以作为化工原料循环使用,不破坏环境。
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