[发明专利]图像传感器、其制造方法和包括该图像传感器的系统

权利要求书

1.一种图像传感器，包括

基板，包括像素区域、第一侧以及与所述第一侧相反的第二侧，其中光入射到所述第二侧并且所述像素区域包括多个像素；

像素分隔结构，布置在所述基板中以使所述像素彼此分离并且在其中包括导电层；以及

电压施加线层，与所述导电层间隔开并且布置在所述基板上以围绕所述像素区域的外部分的至少一部分，其中所述电压施加线层通过至少一个接触电连接到所述导电层，以及其中所述电压施加线层布置在所述像素区域内，并且设置在所述导电层之上使得整个所述电压施加线层与所述导电层重叠并以线的形式延伸。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中当作为水平截面看时，所述像素区域具有矩形形状，所述电压施加线层具有围绕所述像素区域的所述外部分的矩形环形状，并且所述至少一个接触布置在所述矩形环形状的每条边处。

3.根据权利要求1所述的图像传感器，其中当作为水平截面看时，所述像素区域具有矩形形状，所述电压施加线层被提供在四个部分中，该四个部分的每个具有与所述矩形形状的拐角部分相应的L形状，并且所述至少一个接触布置在所述四个部分的每个处。

4.根据权利要求1所述的图像传感器，其中当作为水平截面看时，所述像素区域具有矩形形状，所述电压施加线层被提供在四个部分中，该四个部分的每个具有与所述矩形形状的侧部分相应的条形状，并且所述至少一个接触布置在所述四个部分的每个处。

5.根据权利要求1所述的图像传感器，还包括：

布置在所述第一侧的内部线层；以及

虚设区域，在所述基板中邻近所述像素区域布置并且包含至少一个虚设像素，其中所述电压施加线层和所述内部线层的至少一个通过虚设接触电连接到所述至少一个虚设像素。

6.根据权利要求5所述的图像传感器，其中所述虚设区域布置为围绕所述像素区域，所述虚设接触包括多个虚设接触，并且所述虚设接触布置为对应于所述虚设区域的形状并且彼此间隔开间距。

7.根据权利要求5所述的图像传感器，其中当作为水平截面看时，所述像素区域具有矩形形状，其中当作为水平截面看时，所述虚设区域具有矩形环形状并且围绕所述像素区域，以及其中所述图像传感器还包括：

虚设线层，对应于所述矩形环形状，其中所述虚设接触布置在所述虚设线层和所述至少一个虚设像素之间，以及其中所述虚设线层通过连接线层连接到所述电压施加线层和所述内部线层的至少一个。

8.根据权利要求5所述的图像传感器，其中所述电压施加线层包含延伸到所述虚设区域的突起，以及其中所述虚设接触布置在所述突起和所述至少一个虚设像素之间。

9.根据权利要求1所述的图像传感器，其中所述电压施加线层布置在所述第一侧或所述第二侧上。

10.根据权利要求9所述的图像传感器，还包括布置在所述第一侧上的内部线层，其中所述电压施加线层和所述内部线层的至少一个通过虚设接触电连接到布置在所述像素区域外部的虚设像素。

11.根据权利要求1所述的图像传感器，其中所述像素分隔结构包含深沟槽隔离(DTI)层和布置在所述深沟槽隔离层中的所述导电层，其中绝缘层布置在所述第一侧或所述第二侧，并且其中所述接触在穿透所述绝缘层之后连接到所述导电层。

12.根据权利要求1所述的图像传感器，其中负电压被施加到所述电压施加线层，以及其中所述负电压通过所述接触被施加到整个所述导电层。