[发明专利]电子绝对位置编码器

权利要求书

1.一种电子绝对位置编码器，所述电子绝对位置编码器包括：

标尺，沿着测量轴方向延伸并且包括信号调制标尺图案，所述信号调制标尺图案包括具有空间波长λ₁的作为沿着标尺的位置的函数的第一周期图案组成部分、以及具有空间波长λ₂的作为沿着标尺的位置的函数的第二周期图案组成部分；

检测器，包括沿着测量轴方向布置的感测元件，所述感测元件包括：

一组第一波长感测元件，被配置为提供响应于信号调制标尺图案的第一组检测器信号；及

一组第二波长感测元件，被配置为提供响应于信号调制标尺图案的第二组检测器信号；以及

信号处理配置，基于由检测器提供的检测器信号确定检测器沿着标尺的绝对位置，

其中：

该组第一波长感测元件包括：

各自跨越第一和第二周期图案组成部分的该组第一波长感测元件的第一滤波子组；及

各自跨越第一和第二周期图案组成部分的该组第一波长感测元件的第二滤波子组；

其中该组第一波长感测元件的第一和第二滤波子组被布置为使得该组第一波长感测元件的第一滤波子组中的每个感测元件、与该组第一波长感测元件的第二滤波子组中沿着测量轴方向与其间隔根据空间波长λ₂的180度的整数倍的空间相位差的感测元件形成互补对；并且

该组第二波长感测元件包括：

各自跨越第一和第二周期图案组成部分的该组第二波长感测元件的第一滤波子组；及

各自跨越第一和第二周期图案组成部分的该组第二波长感测元件的第二滤波子组；

其中该组第二波长感测元件的第一和第二滤波子组被布置为使得该组第二波长感测元件的第一滤波子组中的每个感测元件、与该组第二波长感测元件的第二滤波子组中沿着测量轴方向与其间隔根据空间波长λ₁的180度的整数倍的空间相位差的感测元件形成互补对。

2.如权利要求1所述的电子绝对位置编码器，其中：

所述信号处理配置被配置为处理该第一组检测器信号以提供其中由于第二周期图案组成部分导致的信号分量被抑制的第一波长空间相位测量信号，并且处理该第二组检测器信号以提供其中由于第一周期图案组成部分导致的信号分量被抑制的第二波长空间相位测量信号。

3.如权利要求2所述的电子绝对位置编码器，其中：

所述信号处理配置被配置为处理该第一波长空间相位测量信号并确定该组第一波长感测元件相对于空间波长λ₁的空间相位测量，并且处理该第二波长空间相位测量信号并确定该组第二波长感测元件相对于空间波长λ₂的空间相位测量。

4.如权利要求1所述的电子绝对位置编码器，其中：

该组第一波长感测元件的每个互补对中的感测元件以根据空间波长λ₂的K1*180度的空间相位差间隔开，其中K1是整数；并且

该组第二波长感测元件的每个互补对中的感测元件以根据空间波长λ₁的K2*180度的空间相位差间隔开，其中K2是整数。

5.如权利要求4所述的电子绝对位置编码器，其中：

K1和K2是偶数整数；

所述信号处理配置被配置为提供每个互补对的感测元件中产生的信号之间的差信号；

该组第一波长感测元件的差信号提供其中由于第二周期图案组成部分导致的信号分量被抑制的第一波长空间相位测量信号；

该组第二波长感测元件的差信号提供其中由于第一周期图案组成部分导致的信号分量被抑制的第二波长空间相位测量信号；并且

所述信号处理配置被配置为处理该第一波长空间相位测量信号并确定该组第一波长感测元件相对于空间波长λ₁的空间相位测量，并且处理该第二波长空间相位测量信号并确定该组第二波长感测元件相对于空间波长λ₂的空间相位测量。