[发明专利]一种超导薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201611101237.4 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108149202A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 房毅 | 申请（专利权）人： | 山东元盛坤超导材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体羽 超导薄膜 状物 大功率激光束 靶材表面 基底表面 激光器 受热 熔蚀 制备 薄膜 聚焦 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种超导薄膜的制备方法，其特征在于：使用激光器产生的大功率激光束聚焦并作用于靶材表面，使其表面熔蚀，并形成等离子体羽状物，这些等离子体羽状物向受热基底表面转移，最后形成薄膜。
2.根据权利要求1所述一种超导薄膜的制备方法，其特征在于：所述激光器为BrillantB系列：即插即用型3倍频(355nm)，4倍频(266nm)结构激光器。
3.根据权利要求1所述一种超导薄膜的制备方法，其特征在于：激光器作用于靶材表面，使其表面熔蚀的过程是在真空或无氧环境中进行的。
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