[发明专利]一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构

说明书

本发明公开了一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟及设于推舟上的一对推舟杆组件，各所述推舟杆组件远离所述推舟的一端设有旋转式拉舟块，所述推舟上设有用于驱动旋转式拉舟块转动的驱动组件，所述驱动组件与所述推舟杆组件连接，本发明具有结构简单、能够顺利进入石墨舟底部并可靠拉舟等优点。

技术领域

本发明涉及光伏设备，尤其涉及一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构。

背景技术

PECVD设备（其中PECVD为Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的简写，又称等离子体增强化学气相沉积法）是光伏制造领域必不可少的装备，近年来，随着我国光伏产业的迅猛发展，自动化、智能化制造成为趋势，PECVD的自动化生产就是其中很重要的一环。

如附图1至图5所示，石墨舟100（装载太阳能电池片的石墨平台，形状与龙舟相似）通过机械手放置于一对推舟杆200上，然后利用推舟300（用于承载推舟杆200和石墨舟100的机构）将石墨舟100送入石英管400内进行工艺过程，反应完成之后，推舟杆200插入石墨舟100底部并抬起石墨舟100，然后利用安装于推舟杆200上的拉舟块500将石墨舟100拉出来，放舟时拉舟块500也可对石墨舟100进行定位。由于受到石英管400尺寸的限制，同时也为了推舟杆200能够顺利地进入石墨舟100底部，拉舟块500的高度设计较低。随着使用时间的增加，推舟杆200会发生变形，推舟杆200中段不能有效将石墨舟100抬起，拉舟时由于拉舟块500高度过低无法有效拉动石墨舟100，石墨舟100会越过拉舟块500，从而导致拖舟现象。此外，现有的拉舟块500因高度过低，无法校准石墨舟100在推舟杆200上位置的偏移，当石墨舟100放置不准确而架在拉舟块500上时，导致石墨舟100取放位置出现偏差，机械手取石墨舟100时容易砸舟、压舟，从而损坏石墨舟100。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、能够顺利进入石墨舟底部并可靠拉舟的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟及设于推舟上的一对推舟杆组件，各所述推舟杆组件远离所述推舟的一端设有旋转式拉舟块，所述推舟上设有用于驱动旋转式拉舟块转动的驱动组件，所述驱动组件与所述推舟杆组件连接。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述推舟杆组件包括推舟管及旋转杆，所述推舟管固设于所述推舟上，所述旋转杆穿过所述推舟管，所述旋转式拉舟块设于所述旋转杆远离所述推舟的一端，所述驱动组件与所述旋转杆的另一端连接。

所述驱动组件包括驱动缸、一对连杆及一对转盘，所述驱动缸装设于所述推舟上且推杆与一对连杆的一端铰接，一对连杆的另一端分别与一个转盘铰接，一对转盘与一对旋转杆一一对应连接。

所述驱动组件还包括PLC控制器，所述PLC控制器与所述驱动缸连接。

所述驱动缸为气缸。

所述旋转式拉舟块靠近所述推舟的侧面为倾斜调整面，当石墨舟 落在所述倾斜调整面上时，所述石墨舟向下滑动并向所述推舟靠近。

当一对旋转式拉舟块转动至一对推舟杆组件之间时，一对旋转式拉舟块接触。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，在各推舟杆组件上分别设置一块旋转式拉舟块，旋转式拉舟块由驱动组件驱动旋转，需要将推舟杆组件穿过石墨舟时，将旋转式拉舟块转动至水平状态以降低高度，从而克服石英管和石墨舟的尺寸限制；拉舟时再将旋转式拉舟块旋转至竖直状态恢复最大高度，又可避免因高度不够导致的拖舟及石墨舟定位不准的现象，结构简单、可靠；且驱动组件装设于推舟上，远离石英管内高温环境，避免损坏。