[发明专利]一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构有效
| 申请号： | 201611008331.5 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN106756892B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 肖洁;李斌;曹明旺 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 推舟 杆组件 石墨舟 驱动组件 推舟机构 驱动旋转 旋转式 转动 | ||
1.一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟（300）及设于推舟（300）上的一对推舟杆组件（1），其特征在于：各所述推舟杆组件（1）远离所述推舟（300）的一端设有旋转式拉舟块（2），所述推舟（300）上设有用于驱动旋转式拉舟块（2）转动的驱动组件（3），所述驱动组件（3）与所述推舟杆组件（1）连接，所述推舟杆组件（1）包括推舟管（11）及旋转杆（12），所述推舟管（11）固设于所述推舟（300）上，所述旋转杆（12）穿过所述推舟管（11），所述旋转式拉舟块（2）设于所述旋转杆（12）远离所述推舟（300）的一端，所述驱动组件（3）与所述旋转杆（12）的另一端连接，所述驱动组件（3）包括驱动缸（31）、一对连杆（32）及一对转盘（33），所述驱动缸（31）装设于所述推舟（300）上且推杆与一对连杆（32）的一端铰接，一对连杆（32）的另一端分别与一个转盘（33）铰接，一对转盘（33）与一对旋转杆（12）一一对应连接。
2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述驱动组件（3）还包括PLC控制器（34），所述PLC控制器（34）与所述驱动缸（31）连接。
3.根据权利要求1或2所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述驱动缸（31）为气缸。
4.根据权利要求1至2中任一项所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述旋转式拉舟块（2）靠近所述推舟（300）的侧面为倾斜调整面（21），当石墨舟（100） 落在所述倾斜调整面（21）上时，所述石墨舟（100）向下滑动并向所述推舟（300）靠近。
5.根据权利要求4所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：当一对旋转式拉舟块（2）转动至一对推舟杆组件（1）之间时，一对旋转式拉舟块（2）接触。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
