[发明专利]一种玻璃镀膜生产线

说明书

玻璃镀膜生产线，所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向，依次包括进口室，进口缓冲室，进口过渡室，溅射室，出口过渡室，出口缓冲室，出口室；且均铺设有与玻璃物料相平行的传送辊，并设置有与真空系统连接的抽气口；进口过渡室与出口过渡室设置有隔离装置，所述隔离装置包括上隔离装置与下隔离装置，所述上隔离装置具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板，所述下隔离装置具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板，所述上隔离板的下缘高于传送辊上表面，所述下隔离板的上缘低于传送辊上表面，上隔离板与下隔离板之间形成容玻璃物料通过的物料通道，所述上隔离板与下隔离板正对或斜对玻璃物料传送方向。

技术领域

本发明涉及玻璃镀膜生产设备领域。

背景技术

玻璃镀膜是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。

玻璃镀膜是通过在真空环境中，充入少量工作气体(例如Ar、O₂、N₂等)，通过电极之间的放电在溅射室中形成等离子体，通过离子轰击金属靶材，使得金属靶材中的金属粒子溢出，逐步沉积在玻璃表面，形成金属膜或金属化合物膜。

由于玻璃镀膜工艺需要在高度真空的环境下进行，并且需要排除空气杂质对工作气体的影响，以保证镀膜质量，因此玻璃物料在进入玻璃镀膜生产线的溅射室前需要一系列的过渡腔室，逐步抽去空气提升环境真空度，在玻璃物料镀膜完成离开溅射室时，也需要一系列的过渡腔室，逐步降低真空度，进入正常大气环境。

因此在玻璃镀膜生产线中，沿玻璃物料传送方向，依次包括进口室，进口缓冲室，进口过渡室，溅射室，出口过渡室，出口缓冲室，出口室；从进口室到溅射室，真空度逐步提高，从溅射室到出口室，真空度逐步下降。在物料从大气环境进入进口室，从进口室进入进口缓冲室，从进口缓冲室进入进口过渡室，从出口过渡室进入出口缓冲室，从出口缓冲室进入出口室，从出口室进入大气环境，这些过渡阶段，均需要两个环境之间气压达到平衡才能打开物料门，进行玻璃的传送。

例如从大气环境进入进口室时，先对进口室放气，使进口室的压强等于外界大气压强，然后打开进口室与外界的物料门，将玻璃物料传输到进口室中，然后关闭进口室与外界的物料门，对进口室抽真空，待进口室的真空度与进口缓冲室的真空度平衡之后，打开进口室与进口缓冲室之间的物料门，将玻璃物料传输到进口缓冲室中……玻璃物料镀膜后输送出生产线经过出口缓冲室与出口室也需要类似的气压平衡过程。

实现本发明的过程中，发明人发现现有技术中存在如下问题：由于在现有技术中，进口室与大气环境之间的压差较大，因此进口室放气-抽真空的周期明显长于其他腔室放气-抽真空的周期，所以导致提高整个玻璃镀膜生产线效率的瓶颈在于进口室的放气-抽真空周期，若该时间周期不能有效缩短，则玻璃镀膜生产线效率无法有效提升，影响产品生产速度，并导致靶材的浪费。

发明内容

为此，需要提供一种能有效提升玻璃镀膜生产效率，减少靶材浪费的玻璃镀膜生产线。

为实现上述目的，发明人提供了一种玻璃镀膜生产线，所述玻璃镀膜生产线沿玻璃物料传送方向，依次包括进口室，进口缓冲室，进口过渡室，溅射室，出口过渡室，出口缓冲室，出口室；

所述进口室，进口缓冲室，进口过渡室，溅射室，出口过渡室，出口缓冲室，出口室中铺设有与玻璃物料相平行的传送辊，并设置有与真空系统连接的抽气口；

进口过渡室与出口过渡室设置有隔离装置，所述隔离装置包括上隔离装置与下隔离装置，所述上隔离装置具有自上而下延伸至玻璃物料传送平面上方的上隔离板，所述下隔离装置具有自下而上延伸至玻璃物料传送平面下方的下隔离板，所述上隔离板的下缘高于传送辊上表面，所述下隔离板的上缘低于传送辊上表面，上隔离板与下隔离板之间形成容玻璃物料通过的物料通道，所述上隔离板与下隔离板正对或斜对玻璃物料传送方向。