[发明专利]一种用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构有效
| 申请号： | 201610360066.0 | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN106399959B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 佘鹏程;陈特超;毛朝斌;陈立宁;范江华;龚俊 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;戴玲 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 磁控溅射 系统 装载 扫描 机构 | ||
【说明书】：
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