[实用新型]一种氖塔自给式定量蒸发装置有效
| 申请号： | 201520244585.1 | 申请日： | 2015-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN204550060U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 贾广如;李军;张卫;李耀;牛志刚;杨毅坤 | 申请（专利权）人： | 河北钢铁股份有限公司邯郸分公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李桂琴 |
| 地址： | 056015 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自给 定量 蒸发 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种氖塔自给式定量蒸发装置，其特征在于：它包括复热盘管（2）、真空隔膜泵（3）、质量流量控制器（4），循环氖液体罐（1）的气测液位计的负管上接引分出一个支管与复热盘管（2）的进气端相连接，复热盘管（2）的出气端通过管道与真空隔膜泵（3）相连接，真空隔膜泵（3）通过管道与质量流量控制器（4）相连接，质量流量控制器（4）通过管道与氖塔（5）的下部相连接。
2.根据权利要求1所述的氖塔自给式定量蒸发装置，其特征在于：所述真空隔膜泵（3）与质量流量控制器（4）之间的连接管道上安装有流量调节阀。
3.根据权利要求2所述的氖塔自给式定量蒸发装置，其特征在于：所述质量流量控制器（4）的进气端还通过管道与氖瓶高压减压装置（6）相连接，氖瓶高压减压装置（6）分别与氖气瓶（7）和纯氖膜压机引出的一路高压氖气管道（8）相连接。
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