[发明专利]氪、氙气体净化方法及装置

权利要求书

1.一种氪、氙气体净化装置，包括串联的一段反应管和二段反应管，所述一段反应管和二段反应管均位于加热器内，其特征在于，所述二段反应管出口依次连接有氢吸附器、冷却器和精密过滤器。

2.如权利要求1所述的氪、氙气体净化装置，其特征在于，所述两段串联的反应管之间利用钢管进行卡套式连接。

3.如权利要求1所述的氪、氙气体净化装置，其特征在于，所述一段反应管和二段反应管外各设有一个半开式圆形加热器，所述半开式圆形加热器由两个经铰链连接的带有加热丝的半圆形加热筒组成。

4.如权利要求1所述的氪、氙气体净化装置，其特征在于，每段反应管内均设有气体反应段，所述气体反应段的两端设有不锈钢筛网层，其间填充有混装的不锈钢θ环填料与多元合金吸气剂，混装重量比为1/1～1/3。

5.如权利要求4所述的氪、氙气体净化装置，其特征在于，所述不锈钢θ环填料的颗粒径粒为Ф4×4mm。

6.如权利要求3或4所述的氪、氙气体净化装置，其特征在于，所述多元合金吸气剂中锆成分含量占50-65％wt，铝成分含量占10-20％wt，铁成分含量占5-10％wt，钛成分含量占2-10％wt，镧成分含量占3-5％wt，硅成分含量占3-5％wt，其余为不可避免的杂质。

7.如权利要求5所述的氪、氙气体净化装置，其特征在于，所述多元合金吸气剂的颗粒粒径为1-3mm。

8.一种氪、氙气体净化方法，其特征在于，在权利要求1-7任一项所述的氪、氙气体净化装置中进行，先将氪气或氙气的原料气依次送入串联的一段反应管和二段反应管内在700-1000℃下与管内填充的多元合金吸气剂反应脱除原料气中的碳氟化合物和氧氮化合物，然后再送入氢吸附器对氢杂质予以脱除，脱除氢后的原料气经冷却器降温至45℃以下，然后再经精密过滤器分离原料气降温过程中产生的固体晶装颗粒得到氪气或氙气的净化气。

9.如权利要求8所述的氪、氙气体净化方法，其特征在于，所述氪、氙气体净化装置在正式投入运行前的开车方法为：先将净化装置进行真空置换，充入惰性气体至系统压力为0.1～0.2MPa；然后在惰性气体流动的状态下，启动两段反应管外的加热器，对一段和二段反应管加热激活，逐步使两段反应管升温至980℃；在温度稳定至980℃后启动真空泵开始抽真空，持续6～8小时后激活完毕，然后将两段反应管的温度降至960℃后，进入正式投入运行阶段。