[实用新型]一种蓝宝石晶体定向检测旋转平台有效
| 申请号： | 201320811036.9 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN203659815U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 柳祝平;周琪;刘广月;许蔚 | 申请（专利权）人： | 福建鑫晶精密刚玉科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 杨依展 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶体 定向 检测 旋转 平台 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石晶体定向检测旋转平台，其特征在于，包括平台上金属板、平台下金属板、转动部件及机构主体；转动部件固定于两块平台金属板之间，平台下金属板固定于机构主体上；所述转动部件由上金属盘与下金属盘组成，所述上金属盘与下金属盘在同一位置分别设有一半径相同的圆形轨道，所述轨道上安放有一圈大小相同的滚珠。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体定向检测旋转平台，其特征在于，所述金属盘四角设有螺丝孔分别用于与平台上金属板和平台下金属板的固定。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
