[实用新型]一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置

说明书

技术领域

本发明创造涉及设备配液、供液技术，特别涉及一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置。

背景技术

无蜡抛光是利用Peter Wolters FL12P抛光机用化学机械抛光（CMP）的方法进行抛光。其中粗抛过程的最后一步需要利用醋酸来中和掉一部分抛光液的碱性，而原有的方法是将醋酸溶液按一定比例配好后，手动将其倒在抛光垫上。这种方法在操作上非常复杂，且醋酸溶液量无法有效控制，设备无法实现自动化，工作效率低，无法适应大批量生产的需要。

发明内容

本发明创造针对上述现有技术所存在的缺失，主要目的在于提供了一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置。其可以在不用停机的状态下，按要求进行配液和供液。

为解决上述技术问题，本发明创造采用的技术方案是：

一种用于无蜡抛光设备的配液供液装置，包括一号液桶（1）、二号液桶（2）、无蜡抛光设备（5）和总控制系统（3），其中一号液桶（1）和二号液桶（2）的进液口通过分管道与总管道（13）的一端连接，一号液桶（1）和二号液桶（2）的出液口通过分管道与总管道（13）的另一端连接，无蜡抛光设备（5）也通过分管道与总管道（13）相连接，位于两个液桶进液口处的分管道上分别设置有一个阀门，位于两个液桶出液口处的分管道上都设置有泵和阀门，总控制系统（3）通过导线与装置内的各个泵相连接，用于控制泵的开启和关闭。

所述的一号液桶（1）和二号液桶（2）的底部均设置有低液位传感器（6），且所述低液位传感器（6）通过导线与设置在总控制系统（3）上的低液位传感报警器（4）相连接。

优选地，所述一号液桶（1）与二号液桶（2）的容量相同。

本发明创造具有的优点和积极效果是：本发明创造提供的用于无蜡抛光设备的配液供液装置，在进行无蜡抛光工序时，可以在不用停机的状态下，按要求进行配液和供液，实现设备完全自动化，提高了工作效率。具有结构简单，控制容易，制造成本低，维护费用少，安全性高，稳定性好的优点，可较好的应用于无蜡抛光设备的抛光过程中。

附图说明

图1是本发明创造的结构示意图

图中：

1、一号液桶    2、二号液桶    3、总控制系统  4、低液位传感报警器

5、无蜡抛光设备6、低液位传感器7、一号阀门    8、二号阀门

9、三号阀门    10、四号阀门   11、一号泵     12、二号泵

13、总管道

具体实施方式

本发明创造所公开的无蜡抛光设备的配液供液装置，包括一号液桶1、二号液桶2、无蜡抛光设备5和总控制系统3，其中一号液桶1和二号液桶2的进液口通过分管道与总管道13的一端连接，一号液桶1和二号液桶2的出液口通过分管道与总管道13的另一端连接，无蜡抛光设备5也通过分管道与总管道13相连接，位于两个液桶进液口处的分管道上分别设置有一个阀门，位于两个液桶出液口处的分管道上都设置有泵和阀门，总控制系统3通过导线与装置内的各个泵相连接，用于控制泵的开启和关闭。

本发明创造的配液供液装置主要由两个液桶组成，两个液桶的出液口处均有一个泵使得两个液桶是相对独立的，即单一设备即可完成醋酸的配液和供液。除此之外，两个液桶彼此通过管道相连接形成配液回路，使得一号液桶1内的醋酸溶液可以流至二号液桶2内，同理二号液桶2内的醋酸溶液也可以流至一号液桶1内。

除此之外，在两个液桶上还装配了低液位报警装置，当液桶内的液位较低时，低液位传感器处于打开状态，此时连接在传感器上的报警器便会发出报警信号，提示操作人员需要进行配液，有效控制了醋酸配液和供液的时间，给生产和操作带来了很大的方便。

为了更清楚的理解本发明，下面结合具体实施例对本发明进行进一步详细描述：

实施例1

使用时，首先根据工艺要求，按照醋酸的配液比例为醋酸:去离子水=1:1000配制酸液，盛放醋酸溶液的一号液桶1容积为35L，所加冰醋酸应为35mL。用带刻度的量筒量取35mL的冰醋酸倒入配液桶内，将纯水加入一号液桶1至35L。整个配液过程仍需要人手动完成配液。

打开一号液桶1进液口处的一号阀门7，出液口处的三号阀门9及一号泵11的开关，同时关闭二号液桶2进液口处的二号阀门8，出液口处的四号阀门10及二号泵12的开关，此时一号液桶1用来供液，二号液桶2采用相同配液方法进行配液。待一号液桶1内的液体用完时，再关闭一号液桶1的相应的阀门和泵的开关同时打开液桶2的泵和阀门的开关。此时液桶2供液，同理液桶1可以用来配液。

实施例2