[实用新型]一种机柜用旋转结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光刻机机柜用设备。

背景技术

控制机柜作为光刻机的一个重要组成部分，其质量和体积一般较大。当需要维护光刻机的内部空间时，往往需要挪动沉重的机柜，需要费很大的气力。现在大部分光刻机的机柜都是独立放置于地面上，与整机框架相互独立，而且与整机框架的间隙较大，造成了整机的结构不够紧凑，占用了较大的空间。旋转结构作为一种常见的结构，被广泛应用于日常生活和机械产品中，其中铰链作为一种最常见的旋转结构，例如柜门、门板等，但是大多数铰链多为钣金件，承载能力非常有限，只能用于质量较轻的物体的旋转，对于质量较大的机柜，普通的铰链很难满足要求。光刻机在运行一段时间后，往往需要维护光刻机的内部世界以及机柜后侧。现在常见的光刻机移动机柜的方法都是采用滑轨的方式，首先在机柜底面安装两排滑轨，维护内部世界时，首先将机柜沿着导轨槽拉出一段距离，然后工作人员才能进入内部维护。由于一般的机柜质量很大，拉动机柜需要很大的力，一般需要几个人才能拉动，如果再加上地面不平的话，拉动机柜的过程中很容易造成机柜倾覆，极易造成设备和人员的损毁。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是机柜的重量较大、体积较大，不易于移动，从而难以对光刻机的内部空间进行维护。

为了解决这一技术问题，本实用新型提供了一种机柜用旋转结构，用以使得机柜相对整机框架旋转，所述机柜用旋转结构包括位于所述机柜和整机框架顶部的顶部转动结构和位于所述机柜和整机框架底部的底部转动结构，所述顶部转动结构和所述底部转动结构均与所述整机框架固定连接，且均与所述机柜转动连接，所述顶部转动结构和所述底部转动结构分别包括一个调心球轴承和推力调心滚子轴承，且通过所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承与所述机柜转动连接，所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承同轴设置，所述机柜能够绕该轴旋转。

所述顶部转动结构还包括连接板和旋转轴，所述旋转轴与所述机柜固定连接，所述连接板可与所述整机框架固定连接，所述调心球轴承的外圈与所述连接板固定连接，所述调心球轴承的内圈与所述旋转轴固定连接，从而使得所述旋转轴与所述连接板之间通过所述调心球轴承实现相对旋转。

所述顶部转动结构还包括轴承盖和夹紧螺栓，所述轴承盖与所述旋转轴从所述调心球轴承的内圈的上方与下方夹紧所述调心球轴承的内圈，且所述轴承盖与所述旋转轴之间通过所述夹紧螺栓连接。

所述底部转动结构还包括底板、水平移动部分和旋转部分，所述底板与所述整机框架固定连接，所述旋转部分与所述机柜固定连接，所述旋转部分通过所述水平移动部分在所述底板上移动，所述机柜通过所述旋转部分在所述水平移动部分上旋转。

所述水平移动部分包括直线导轨、滑块和两个平行设置的限位挡块，所述旋转部分包括轴承端盖、轴承底座和所述推力调心滚子轴承，所述两个限位挡块固定设在所述底板上，所述直线导轨设在所述两个限位挡块之间，所述直线导轨上表面设有导轨槽，所述滑块在所述导轨槽内直线移动，所述滑块与所述轴承底座固定连接，所述轴承底座与所述轴承端盖分别与所述推力调心滚子轴承内圈与外圈固定连接，从而使得所述轴承端盖与所述轴承底座之间通过所述推力调心滚子轴承实现相对旋转，所述轴承端盖与所述机柜固定连接。

所述底部转动机构还包括若干圆柱销，所述圆柱销固定设在所述轴承端盖上，所述轴承底座上设有环形槽，所述轴承端盖相对所述轴承底座旋转时，所述圆柱销在所述环形槽内移动。

所述底板上还设有防撞橡胶块，所述防撞橡胶块平行于所述限位挡块，且位于所述水平移动部分与所述整机框架之间。

所述机柜用旋转结构还包括一个销轴，所述销轴固定设置在所述机柜的底部，所述底板上设有移动槽，所述机柜相对于所述底板移动和旋转时所述销轴在所述移动槽内移动，所述移动槽的形状与所述机柜相对于所述底板移动和旋转的轨迹匹配。

所述机柜用旋转结构还包括设于所述机柜底部的三个脚轮，所述底部转动机构、顶部转动机构靠近所述机柜的一角设置，所述三个脚轮分别靠近所述机柜的另外三个角设置。

所述脚轮上设有用于支撑所述机柜三个角且可调升降的调整块。

本实用新型还提供了一种光刻机的控制机柜系统，包括机柜、整机框架和本实用新型提供的机柜用旋转结构，所述机柜通过所述机柜用旋转结构实现其相对于所述整机框架的旋转。