[实用新型]一种机柜用旋转结构

权利要求书

1.一种机柜用旋转结构，用以使得机柜相对整机框架旋转，其特征在于：包括位于所述机柜和整机框架顶部的顶部转动结构和位于所述机柜和整机框架底部的底部转动结构，所述顶部转动结构和所述底部转动结构均与所述整机框架固定连接，且均与所述机柜转动连接，所述顶部转动结构和所述底部转动结构分别包括一个调心球轴承和推力调心滚子轴承，且通过所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承与所述机柜转动连接，所述推力调心滚子轴承和所述调心球轴承同轴设置，所述机柜能够绕该轴旋转。

2.如权利要求1所述的机柜用旋转结构，其特征在于：所述顶部转动结构还包括连接板和旋转轴，所述旋转轴与所述机柜固定连接，所述连接板可与所述整机框架固定连接，所述调心球轴承的外圈与所述连接板固定连接，所述调心球轴承的内圈与所述旋转轴固定连接，从而使得所述旋转轴与所述连接板之间通过所述调心球轴承实现相对旋转。

3.如权利要求2所述的机柜用旋转结构，其特征在于：所述顶部转动结构还包括轴承盖和夹紧螺栓，所述轴承盖与所述旋转轴从所述调心球轴承的内圈的上方与下方夹紧所述调心球轴承的内圈，且所述轴承盖与所述旋转轴之间通过所述夹紧螺栓连接。

4.如权利要求1所述的机柜用旋转结构，其特征在于：所述底部转动结构还包括底板、水平移动部分和旋转部分，所述底板与所述整机框架固定连接，所述旋转部分与所述机柜固定连接，所述旋转部分通过所述水平移动部分在所述底板上移动，所述机柜通过所述旋转部分在所述水平移动部分上旋转。

5.如权利要求4所述的机柜用旋转结构，其特征在于：所述水平移动部分包括直线导轨、滑块和两个平行设置的限位挡块，所述旋转部分包括轴承端盖、轴承底座和所述推力调心滚子轴承，所述两个限位挡块固定设在所述底板上，所述直线导轨设在所述两个限位挡块之间，所述直线导轨上表面设有导轨槽，所述滑块在所述导轨槽内直线移动，所述滑块与所述轴承底座固定连接，所述轴承底座与所述轴承端盖分别与所述推力调心滚子轴承的内圈与外圈固定连接，从而使得所述轴承端盖与所述轴承底座之间通过所述推力调心滚子轴承实现相对旋转，所述轴承端盖与所述机柜固定连接。

6.如权利要求5所述的机柜用旋转结构，其特征在于：所述底部转动机构还包括若干圆柱销，所述圆柱销固定设在所述轴承端盖上，所述轴承底座上设有环形槽，所述轴承端盖相对所述轴承底座旋转时，所述圆柱销在所述环形槽内移动。

7.如权利要求5所述的机柜用旋转结构，其特征在于：所述底板上还设有防撞橡胶块，所述防撞橡胶块平行于所述限位挡块，且位于所述水平移动部分与所述整机框架之间。

8.如权利要求4所述的机柜用旋转结构，其特征在于：还包括一个销轴，所述销轴固定设置在所述机柜的底部，所述底板上设有移动槽，所述机柜相对于所述底板移动和旋转时所述销轴在所述移动槽内移动，所述移动槽的形状与所述机柜相对于所述底板移动和旋转的轨迹匹配。

9.如权利要求1所述的机柜用旋转结构，其特征在于：还包括设于所述机柜底部的三个脚轮，所述底部转动机构、顶部转动机构靠近所述机柜的一角设置，所述三个脚轮分别靠近所述机柜的另外三个角设置。

10.如权利要求9所述的机柜用旋转结构，其特征在于：所述脚轮上设有用于支撑所述机柜三个角且可调升降的调整块。

11.一种光刻机的控制机柜系统，其特征在于：包括机柜、整机框架和如权利要求1至10任意之一所述的机柜用旋转结构，所述机柜通过所述机柜用旋转结构实现其相对于所述整机框架的旋转。