[实用新型]芯片研磨液配制及供应设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种化学反应系统，特别涉及一种用于电子级柠檬酸稀释和供应的化学稀释供应系统。

背景技术

在现有技术中，油剂研磨液由航空汽油、煤油、变压器油及各种植物油、动物油及烃类，配以若干添加剂组成；水剂研磨液由水及各种皂剂配制而成，油剂研磨液主要是黏度、润滑及防锈性能好，清洗工艺必须配以有机溶剂，有环境污染及费用较高等缺点；水剂研磨液则防锈能力差，研磨液根据磨料的不同可分为：金刚石研磨液，二氧化硅研磨液，氧化铈研磨液等，其中，金刚石研磨液又可分为：单晶金刚石研磨液，多晶金刚石研磨液，爆轰纳米金刚石研磨液。

然而研磨液在应用时，经常需要进行稀释，现有的稀释方法均为手动稀释，稀释后的研磨液由于稀释后浓度不一致，效果有好有坏。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够精确稀释研磨液的芯片研磨液配制及供应设备。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种芯片研磨液配制及供应设备，包括控制显示器、原液罐、稀释罐、供应罐和终端工艺机台，所述原液罐的出口和所述稀释罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，所述稀释罐的出口与所述供应罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，所述供应罐的出口通过带有电磁阀的管道与所述终端工艺机台导通，在所述原液罐、所述稀释罐和所述供应罐上均设置有液位传感器，所述液位传感器与所述控制显示器通信连接，各所述电磁阀分别与所述控制显示器通信连接。

上述的芯片研磨液配制及供应设备，还包括超净水供应管道，所述超净水供应管道上设置有电磁阀，所述超净水供应管道与所述稀释罐导通。

上述的芯片研磨液配制及供应设备，在连通所述原液罐和所述稀释罐的管道上设置有原液供应泵，在连通所述稀释罐和所述供应罐的管道上设置有稀释液供应泵，在连通所述供应罐和所述终端工艺机台的管道上设置有研磨液供应泵。

上述的芯片研磨液配制及供应设备，所述控制显示器上设置有蜂鸣器和红黄绿三色LED显示灯，所述红黄绿三色LED显示灯与所述蜂鸣器通信连接，所述红黄绿三色LED显示灯分别与设置在所述供应罐、所述稀释罐和所述原液罐上的液压传感器通信连接，在所述控制显示器上具有显示液压传感器传递的信息显示屏。

上述的芯片研磨液配制及供应设备，还包括机箱，所述供应罐、所述稀释罐和所述原液罐均设置在所述机箱内，在所述机箱上设置有三个开关门，三个所述开关门分别对应所述供应罐、所述稀释罐和所述原液罐。

本实用新型的有益效果是：芯片研磨液配制及供应设备通过控制显示器对所需稀释度进行设定，设定完成后对各电磁阀和供应泵进行控制对原液进行稀释，所得稀释液的稀释度精确度高，稀释过程高度自动化，节约了大量的人工劳动力，以最优配比进行稀释节约了大量原液的浪费，符合节能环保的大形势。

附图说明

图1为本实用新型芯片研磨液配制及供应设备的结构示意图，

图2为本实用新型芯片研磨液配制及供应设备的工艺结构示意图。

图中：1-机箱，2-开关门，3-红黄绿三色LED显示灯，4-蜂鸣器，5-控制显示器，6-信息显示屏。

具体实施方式

结合附图对本实用新型做进一步的说明：

如图1所示，一种芯片研磨液配制及供应设备，包括控制显示器5、原液罐、稀释罐、供应罐和终端工艺机台，所述原液罐的出口和所述稀释罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，所述稀释罐的出口与所述供应罐的入口通过带有电磁阀的管道连通，所述供应罐的出口通过带有电磁阀的管道与所述终端工艺机台导通，在所述原液罐、所述稀释罐和所述供应罐上均设置有液位传感器，所述液位传感器与所述控制显示器5通信连接，各所述电磁阀分别与所述控制显示器5通信连接。

还包括超净水供应管道，所述超净水供应管道上设置有电磁阀，所述超净水供应管道与所述稀释罐导通。

在连通所述原液罐和所述稀释罐的管道上设置有原液供应泵，在连通所述稀释罐和所述供应罐的管道上设置有稀释液供应泵，在连通所述供应罐和所述终端工艺机台的管道上设置有研磨液供应泵。