[实用新型]用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及直拉法（Cz法）单晶炉配件技术领域，尤其是一种用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置。

背景技术

国内用于拉制6-8英寸太阳能和半导体级硅单晶生长炉型号大多属85炉系列。其炉体结构基本参数为；

主炉筒尺寸：Ф850X1250mm

翻板阀通径：Ф260mm

副炉室尺寸：Ф280X2000mm

拉制晶体直径：φ6-8

熔料量：65kg--90kg（18″坩埚）

        95kg--120kg（20″坩埚）

在实际生产过程中，为了提高产量，降低生产成本，最大限度地利用石英坩埚的容积，在满足生产工艺要求的情况下，往往采用增加副炉室长度，加大投料量的方法来提高石英坩埚的利用价值，但是在实际生产中我们发现，当单晶炉副炉室的高度超过2000mm以上时，拉制的单晶硅棒在旋转提升过程中摆动较大，单晶硅棒旋转同心度很不稳定，时常拉制出A、B段、位错等质量差的单晶硅棒，给企业造成损失。

另一方面，在用20″(英寸)石英坩埚拉制6.5(英寸)单晶时，由于受到单晶炉副炉室高度2000mm的限制，石英埚的投料量只能达到90kg，而20″石英坩埚实际多次投料量可达到120-150kg，之所以不能有效利用石英坩埚容积的原因是多次投料可以拉制长度超过2100mm以上的6.5(英寸)收尾单晶硅棒，加上晶棒拉头和籽晶的长度，远大于副炉室2000mm的尺寸。

如果将单晶炉主炉室的椭圆型炉盖（封头）的空间利用起来，将副炉室和炉盖同时升降卸取晶棒，又会受到硅晶体抗横向受力强度低，轻微的晶棒摆动和外力作用都有可能从硅棒细颈处断裂，造成严重的摔棒砸炉事故。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种体积小、操作简单，不仅能最大限度地利用石英埚的容积增加投料量而且还能用于单晶炉二次加料工艺的用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，解决现有技术中单晶硅棒在旋转提升过程中摆动较大，单晶硅棒旋转同心度很不稳定的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型提供了一种用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置，包括基座和用于装夹硅棒的抓杆组，所述基座中部具有通孔，位于基座上表面、通孔的同一侧具有两个上凸块，所述上凸块与螺栓螺纹连接于上凸块中心，所述螺栓端部连接有活动定位块；所述活动定位块相对于通孔的对应位置有两个固定定位块，固定定位块固定连接于基座上表面；所述基座下表面具有两个相对设置的下凸块，所述下凸块之间穿设有转动轴，所述转动轴中部铰接有第一连杆和第二连杆，所述第一连杆端部铰接有第三连杆，第二连杆端部铰接有第四连杆，第三连杆与第四连杆端部铰接，四个连杆构成四边形结构，第一连杆与第三连杆铰接处铰接有第一滑块，第二连杆与第四连杆铰接处铰接有第二滑块，第一滑块与第二滑块之间装有调节螺杆，第一滑块与调节螺杆为固定连接，第二滑块与调节螺杆为螺纹连接；所述抓杆组穿过所述基座的通孔，所述抓杆组的第一抓杆和第二抓杆分别与第一连杆和第二连杆固定连接

进一步地，所述第一连杆、第二连杆、第三连杆和第四连杆的长度相等。

进一步地，所述调节螺杆一端固定连接有旋转把手。

进一步地，所述抓杆组是一对半环形抓杆。

本实用新型的有益效果是：本实用新型不仅有效的解决了单晶硅棒在旋转提升过程中摆动较大，单晶硅棒旋转同心度很不稳定的问题，而且解决了由于增大投料量后造成的晶棒过长，单晶炉副室高度不够，晶棒无法正常取出的问题。从而实现了增大单炉投料量，提高单晶炉设备产量和生产效率，节约拉晶时间，减少单位产量内的石英坩埚用量和单晶炉热场石墨件的损耗，大幅度降低成本的目的。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1、图2是本实用新型的用于增加单晶炉投料量的便携式硅棒取出装置的不同方位的立体图。

图中：1.基座，2.抓杆组，101.通孔，102.上凸块，103.螺栓，104.活动定位块，105.固定定位块，106.下凸块，107.转动轴，108.第一连杆，109.第二连杆，110.第三连杆，111.第四连杆，112.第一滑块，113.第二滑块，114.调节螺杆，115.旋转把手，21.第一抓杆，22.第二抓杆。

具体实施方式