[实用新型]一种线宽测量机

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术领域中的线宽测量技术，尤其涉及一种线宽测量机。 

背景技术

现有的TFT液晶显示器的制备过程中所使用的线宽测量机的结构如图1所示，包括：测试镜头固定梁11、测试镜头12、光纤13、光栅14和光源15组成的灯箱16、信息处理器17、测试机台18。其中，所述测试镜头12设置于所述测试镜头固定梁11下部、所述测试镜头12可沿平行于所述测试镜头固定梁11的方向在所述测试镜头固定梁11水平移动，所述测试镜头固定梁11可在垂直于自身的水平方向上移动；所述测试镜头12通过光纤13与所述灯箱16相连，光纤13将灯箱16发出的测试光传输到测试镜头12，所述灯箱16中的光栅14用于控制光源15发出的光线通过量，并与滤光片共同作用提供单色光；所述信息处理器17与所述灯箱16以及所述测试镜头12电连接；如图2（a）所示，所述灯箱16中还包括滤光片110。实际应用过程中，待测试基板19至于所述测试机台18上。目前，所述光源15通常为卤素灯，但由于其使用寿命有限，且在使用过程中照度会持续衰减，进而导致到达测试镜头12的光量变弱而最终导致测试准确性变差。 

现有技术通过定期的手动校正来实现消除因光源衰减造成的测量误差。其做法是定期在线宽测量机上通过手动模式对各个薄膜晶体管液晶显示器的扫描式电子显微镜标准片或标准掩膜版进行测量，通过调节测量时使用的光栅光量通过条件，使之与扫描式电子显微镜标准片或标准掩膜版上的线宽相吻合，然后通过信息处理器修改测试程式中光栅光量通过条件，即光栅位置。这种方法 的不足之处在于： 

1）由于每种型号的TFT液晶显示器均需要单独制备特殊的SEM标准片或者标准掩膜版，因此，程序繁琐且实现较困难； 

2）线宽测量机的光源使用寿命一般在2000小时左右，由于其衰减并非是等量衰减，故在2000小时内需多次校准，不但费时费力，测量结果可控性也较差； 

3）校准工作为全手动方法进行，无法避免人为的误差。 

综上所述，有待提出一种可控性较高的避免因线宽测量机中光源随时间的衰减而导致测量结果准确性变差的问题。 

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种线宽测量机，可避免因线宽测量机中光源随时间的衰减而导致测量结果准确性变差的问题，可控性高。 

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的： 

本实用新型提供了一种线宽测量机，包括光栅、测试镜头；所述线宽测量机还包括：照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置相连， 

所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。 

其中，所述光栅驱动单元为电机，用于驱动所述光栅进行旋转。 

其中，所述照度感应装置与所述控制单元电连接。 

上述方案中，所述照度感应装置设置于所述测试机台上表面任一一角的位置。 

上述方案中，所述照度感应装置的感应面与所述测试镜头所在平面平行。 

本实用新型提供的线宽测量机包括：照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置相连，所述照度感应装置， 用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。在实际进行线宽测量时，控制模块通过照度测试时记录的照度值与光栅旋转位置的对应关系找到测试程式中设定的照度值，并通过所述光栅驱动单元将所述光栅旋转到与所述测试程式中设定的照度值对应的位置处，因此，可实现测试镜头端的照度值保持为测试程式中设定的照度值不变，进而保证线宽测量结果的稳定性，消除由于光源衰减造成的测量准确性变差的问题。 

此外，由于本实用新型只需在所述测试机台上设置一个照度感应装置，并设置所述控制单元和光栅驱动单元，由于光源光量的衰减可以通过照度感应装置测试后不断补正，保证测试镜头端的测试光量不变，因此光源的使用寿命得到延长，直至达到其使用的安全电压范围。 

另外，由于本实用新型的光栅旋转位置的调整均通过所述控制单元和光栅驱动单元的结合自动调节，相对于现有的手动调节，大大降低了设备校准所用时间和工作量；本实用新型在照度测试后即可及时进行光栅位置的调节，不需人为参与，因此测量结果的可控性高。 

附图说明