[实用新型]一种线宽测量机有效
| 申请号： | 201320229568.1 | 申请日： | 2013-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN203454970U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 龚长勇;孙林;汪雄;鲁成祝;黄炳相 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 王黎延;张振伟 |
| 地址： | 230011 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 | ||
【权利要求书】：
1.一种线宽测量机，包括光栅、测试镜头；其特征在于，所述线宽测量机还包括：照度感应装置、控制单元以及光栅驱动单元；其中，所述控制单元与所述照度感应装置相连，
所述照度感应装置，用于接收光信号并将不同强度的光信号转换为不同的电信号，并将所述电信号传送给所述控制单元；所述控制单元用于根据所述电信号控制所述光栅驱动单元。
2.根据权利要求1所述的线宽测量机，其特征在于，所述光栅驱动单元为电机，用于驱动所述光栅进行旋转。
3.根据权利要求1所述的线宽测量机，其特征在于，所述照度感应装置与所述控制单元电连接。
4.根据权利要求1、2或3所述的线宽测量机，其特征在于，所述照度感应装置设置于所述测试机台上表面任一一角的位置。
5.根据权利要求1、2或3所述的线宽测量机，其特征在于，所述照度感应装置的感应面与所述测试镜头所在平面平行。
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