[实用新型]一种开有斜槽的石英舟结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种用于制造石英件的，开有斜槽的石英舟结构。

背景技术

     石英舟广泛应用于半导体制造工业，尤其在太阳能、分立器件芯片制造的扩散工艺上使用较为广泛，石英舟的作用是用来装置硅片，然后将其安装在炉管的桨上，由桨推入炉管内部进行掺杂及扩散工艺。

      目前，传统的石英舟一般由纵向的石英棒以及横向连接的石英条组成，在纵向的石英棒上开有与水平面相垂直的槽并装置硅片，对于此种结构的石英舟，由于硅片的固定点有限，并且硅片与硅片之间呈平行竖直排列，当工艺气体设置为流量较大的时候，硅片易受流量影响产生晃动，造成碎片，另外这种与水平方向垂直的槽在出现磨损情况，相邻的两硅片易粘接在一起，影响气体的扩散均匀性。

实用新型内容

本申请人针对上述问题，进行了研究改进，提供一种结构简单、安装方便的开有斜槽的石英舟结构，减少了工艺碎片的情况，提高了气体的扩散均匀性。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：包括底座，底座上装置舟体，于舟体的两端设置可与搬运器插接的安装孔，在舟体上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔。

其进一步技术方案在于：

所述安装槽为一斜槽，斜槽与垂直线之间形成2°～5°的夹角，于斜槽上还开有倒角，倒角的角度为59°～61°；

于舟体上，位于安装孔的内侧还装置手柄，手柄为长条形；

所述舟体上还开有长圆形插槽，长圆形插槽至少为5个；

所述舟体两腰线之间的形成的夹角α为119°～121°；

所述舟体上开有的导气孔至少为5个，导气孔为长圆形；

所述安装孔为4个。

所述底座为3个，分别位于舟体的前部、中部及后部。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过将舟体设计为弧形，同时将舟体上的槽设置成与垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片与舟体的接触面积，避免以往因槽磨损而出现硅片倾斜或粘接的的情况，并大大降低了工艺碎片发生的几率，同时在舟体上还开有导气孔，大大提高了气体的扩散均匀性。

附图说明

图1为本实用新型的主视图。

图2为图1的俯视图。

图3为本实用新型斜槽的局部的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1、图2所示，本实用新型包括底座4，底座4为3个，底座4上装置舟体2，舟体2两腰线之间的形成的夹角α为119～121°，于舟体2的两端设置可与搬运器插接的安装孔3，安装孔3为4个。在舟体2上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔5。舟体2上开有的导气孔5至少为5个，导气孔5为长圆形。如图3所示，安装槽为一斜槽201，斜槽201与垂直线之间形成2°～5°的夹角，于斜槽201上还开有倒角，倒角的角度为60°59°～61°。如图2所示，舟体2上，位于安装孔3的内侧还装置手柄6，手柄6为长条形。在舟体2上还开有长圆形插槽7，长圆形插槽7至少为5个，长圆形插槽7保证了舟体2进入炉内后与气体的充分交融、接触，上述底座4分别位于舟体2的前部、中部及后部

本实用新型的具体工作过程如下：

将硅片依次放入斜槽201内，由于斜槽具有一定角度，各硅片朝相同方向倾斜，利用手柄6拿起本实用新型，利用底座4安装在浆（图中未示出），通过桨将本实用新型推入炉内，通过导气孔5、长圆形插槽7、以及斜槽201，可使工艺气体与硅片充分接触，使硅片和舟接触的部分也得到均匀的掺杂和扩散。

本实用新型通过将舟体设计为弧形，同时将舟体上的槽设置成与垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片与舟体的接触面积，避免以往因槽磨损而出现硅片倾斜或粘接的的情况，并大大降低了工艺碎片发生的几率，同时在舟体上还开有导气孔，大大提高了气体的扩散均匀性。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在不违背本实用新型的基本结构的情况下，本实用新型可以作任何形式的修改。