[实用新型]异质复合研磨定位环

说明书

技术领域

本实用新型关于一种研磨定位环，尤指一种用于晶圆定位研磨作业的异质复合研磨定位环。

背景技术

按，一般晶圆研磨作业使用的研磨定位环的结构，以往以一体成形的材质所制成，后有考虑基部环体与研磨环体各有其功能，因此有发展出异质(相异材质)作为复合层的构造，如中国台湾新型专利第M347978号“研磨定位环的改良结构”所呈现的构造，一基部，其采由不锈钢或是金属合金所制成，并呈一环形态样，该基部的第一侧面为一锁固面，锁固面上设置有定位孔；基部的第二侧面为一结合面，结合面上设置有接合孔，该接合孔可用以接设锁固接合元件。一研磨部，其采由高分子塑性材料所制成，并呈一环形态样，该研磨部的第一侧面为一结合面，结合面上设置有导入孔；研磨部的第二侧面则为一研磨面。

藉由金属的基部环体与一高分子材质的研磨环体相互结合所构成，分别呈现出不同的效果。然而该先前技术所呈现出的“异质”以基材为通常硬度较高的不锈钢或是金属合金，然而研磨部，则采用相对硬度较低的高分子塑性材料。

该案重点虽表现于因应研磨定位环于研磨加工过程中，会与晶圆及加工机件之间产生持续性剧烈的摩擦作用，其所产生的反向应力，则会对研磨定位环的基部环体与研磨环体的结合结构，产生破坏性作用，一旦基部环体与研磨环体之间产生松动或脱开剥离的现象时，亦即等同该研磨定位环报废，而需另作更换。因此重点强调在二者的结合结构的牢固性，但是该案所呈现出的层级构造，是以硬度较低者作为研磨材料，从而材料的损耗较为严重，且该案以硬度较高者作为基材，因此其韧性与应变性亦相对低，因此仍有改进的空间。

虽然，亦有业者采用塑料(例如PPS)为一基部与一研磨部为一体成型，虽可以不使用金属而降低生产成本，但由于是一体，因此当研磨部被磨损而消耗时，基部纵使没有磨损消耗，但也必须随同该研磨部一体更换，但由于该塑料(PPS)费用不赀，亦属浪费与不经济。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种异质复合研磨定位环，包括一上环与一下环，两者依序叠合并为结合，该上环与下环均以塑化材质所制，二者兼具的复合层效果。

本实用新型所采用的技术手段如下所述。

一种异质复合研磨定位环，包括一上环与一下环，两者依序叠合并为结合，该上环与下环均以塑化材质所制。

该下环的硬度高于该上环。

该上环与该下环之间，更衬设一垫环，以令形成多层式。

垫环的硬度介于该上环与该下环之间。

该下环选自于聚苯硫醚(polyphenylene sulfide，PPS)、聚丁烯对苯二甲酸酯(polybutylene terephthalate，PBT)、碳充聚醚醚酮(carbin－filled PEEK)、聚醚酰亚胺(polyetherimide，PEI)、聚醚醚酮(polyether ether ketone，PEEK)、聚乙烯对苯二甲酸酯(polyethylene terephthalate，PET)、聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene，PTFE)、聚苯并咪唑 (polybenzimidazole，PBI)、聚胺－酰亚胺(polyamide－imide，PAI)、聚乙烯对酞酸脂(PETP)、聚氯乙烯(PVC)、尼龙(NYLON)、聚缩醛(POM)、ABS、铁弗龙(PTFE)、聚氟化亚乙烯PVDF之一或任何二种以上复合。

本实用新型所产生的有益效果如下所述。

由于本实用新型采用塑化材料，均以塑化材质所制以节省成本较高的金属或塑化材料。

且本实用新型分为一上环(基部)与一下环(研磨部)，因此当下环(研磨部)被磨损而消耗时，上环(基部)无须随同该下环(研磨部)一体更换，因此可以节省该塑化材料的费用，而达到经济效果。且必须说明的是，本案并非单纯以材质的改变所达成的预期功效，而以相较于先前技术的反向布列的空间型态，配合材质所达成的效果。

附图说明

图1本实用新型第一实施例的立体组合图。

图2本实用新型第一实施例的立体分解图。

图3A本实用新型第一实施例的分解状态的剖视图。

图3B本实用新型第一实施例的组合状态的剖视图。

图4本实用新型第二实施例的立体分解图。

图5本实用新型第二实施例组合状态的剖视图。

图6本实用新型第二实施例的立体图。

图号说明：

1异质复合研磨定位环

11上环

12下环

13垫环

1A有设置沟槽的异质复合研磨定位环。

具体实施方式