[实用新型]一种改善蓝宝石晶片平坦度的组合式背垫有效

专利信息
申请号: 201320162032.2 申请日: 2013-04-02
公开(公告)号: CN203197727U 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 杨守栋;方建雄;李呼相 申请(专利权)人: 苏州海铂晶体有限公司
主分类号: B24B37/27 分类号: B24B37/27;B24B37/34
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 李凤娇
地址: 215437 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 改善 蓝宝石 晶片 平坦 组合式
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及人造晶体加工技术领域,尤其是一种改善蓝宝石晶片平坦度的组合式背垫。

背景技术

目前国内蓝宝石晶片批量生产技术尚不成熟,生产蓝宝石晶片过程中容易出现裂痕、崩边、表面粗糙度或表面平坦度不良等缺陷。因蓝宝石晶片表面平坦度不合格而导致的返工情况也屡见不鲜,部分经过返工的蓝宝石晶片由于研磨抛光过度,以至厚度过薄而报废,大大增加了蓝宝石的加工成本和生产周期。

究其原因,蓝宝石晶片表面平坦度不合格很大一部分原因是因为加工过程中局部移除较大,不能让蓝宝石晶片在抛光研磨机上全面均匀受力。

发明内容

发明目的:针对现有技术的不足,申请人经过反复的实践探索,设计了一种改善蓝宝石晶片平坦度的组合式背垫。

技术方案:为了实现上述发明目的,本实用新型所采用的技术方案为:一种改善蓝宝石晶片平坦度的组合式背垫,包括一层背垫,所述背垫下端面设有缓冲垫,所述缓冲垫和背垫之间利用胶水连接。胶水可以涂刷在背垫下端面与缓冲垫相对应的位置,也可以涂刷在缓冲垫的连接面上,优选地将胶水涂刷在缓冲垫上,再与背垫进行粘连。

所述背垫在工作时将承受下压装置的压力,要具有一定的硬度保证受挤压不变形,优选地使用PVC作为制作材料。综合蓝宝石晶片的常规尺寸和背垫的受力情况,将所述背垫设计为圆形,半径为240mm,厚度为1-2mm,圆心位置设有直径为20mm的散气孔。

所述缓冲垫可以选择多种制备材料,应具备柔软性和弹性。这里优选地采用条状工业发泡棉,将条状工业发泡棉围成一个圆环形封闭空间,形成缓冲垫,所述缓冲垫的外环半径为200mm,内环半径为170mm,厚度为3-4mm。

有益效果:本实用新型与现有技术相比,其有益效果是:

1、本实用新型利用PVC材料制备背垫,具备一定的强度和硬度,能够将下压装置的压力均匀地散开,不会轻易变形;

2、本实用新型采用工业发泡棉作为缓冲垫,不但能够起到缓冲的效果,能反复使用,而且价格低廉,性价比较高;

3、本实用新型在PVC背垫的圆心位置设计了散气孔,保证了缓冲垫被下压的过程中,环形空间里的气体能够及时散逸出去;

4、本实用新型能够大幅度改善蓝宝石晶片的表面平坦度,5点厚度测试(TV5测试)和总厚度偏差测试(TTV测试)的测试结果如表1所示,本实用新型能够大大改善蓝宝石晶片的研磨抛光效果。

测量事项研磨抛光中使用本实用新型研磨抛光中不使用本实用新型TV50μm-2μm5μm-10μmTTV≤3μm≤10μm

表1

附图说明

图1为本实用新型一种改善蓝宝石晶片平坦度的组合式背垫的结构示意图。

具体实施方式

下面通过一个最佳实施例,对本技术方案进行详细说明,但是本实用新型的保护范围不局限于所述实施例。

如图1所示,一种改善蓝宝石晶片平坦度的组合式背垫,包括一层背垫1,所述背垫1下端面设有缓冲垫2,所述缓冲垫2和背垫1之间利用胶水连接,即在缓冲垫2的表面涂刷胶水后与背垫1进行粘连。

所述背垫1为圆形,半径为240mm、厚度为1-2mm,圆心位置设有直径为20mm的散气孔,使用PVC材料制的。

所述缓冲垫2设计为圆环形,外环半径为200mm,内环半径为170mm,厚度为3-4mm,选择工业发泡棉作为制作材料。

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