[实用新型]一种药液泄漏的检测和承接装置有效
| 申请号： | 201320111254.1 | 申请日： | 2013-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN203242604U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 李南征;邱勇;苟琦;王磊;金波 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 彭秀丽 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 药液 泄漏 检测 承接 装置 | ||
1.一种药液泄漏的检测和承接装置，其特征在于：其包括：
位于设备底部的底板（1）；
位于所述底板（1）上侧的操作板（3）；所述操作板（3）成型有至少一个漏孔；
所述底板（1）和所述操作板（3）之间设置至少一个导流隔板（2），所述操作板（3）、所述导流隔板（2）、所述底板（1）以及设备侧壁围成药液汇集槽（7），所述药液汇集槽（7）的底部板面和所述导流隔板（2）在所述底板（1）的投影面与所述操作板（3）在所述底板（1）的投影面重合。
2.根据权利要求1所述的药液泄漏的检测和承接装置，其特征在于：
所述导流隔板（2）设置一块，其上部侧边与所述操作板（3）的一个侧边位置重合，位于底板（1）上的侧边与所述底板（1）围成了三角形的所述药液汇集槽（7）槽底。
3.根据权利要求1所述的药液泄漏的检测和承接装置，其特征在于：
所述导流隔板（2）设置二块，两个所述导流隔板（2）的上部侧边与所述操作板（3）相对的侧边重合，位于底板（1）的侧边与所述底板（1）围成了三角形的所述药液汇集槽（7）槽底。
4.根据权利要求1-3任一所述的药液泄漏的检测和承接装置，其特征在于：
所述药液汇集槽（7）槽底开设至少一个排液孔（4）。
5.根据权利要求4所述的药液泄漏的检测和承接装置，其特征在于：
所述药液汇集槽（7）槽底设置一个液体传感器（5），所述液体传感器与报警器相连。
6.根据权利要求5所述的药液泄漏的检测和承接装置，其特征在于：
所述药液汇集槽（7）槽底放置一层药液反应物（6）。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
