[发明专利]泄漏试验方法

摘要

本发明提供在具有作为被划分出的三个空隙部的空间的工件中能够分离把握自各空间泄漏的泄漏量而高精度地进行合格品还是非合格品的判定的泄漏试验方法。泄漏试验方法包括：获取各总泄漏量(T₁～T₆)的各工序(步骤－103、105、107、110、112、114)；计算工序(步骤－116)，基于获取到的各总泄漏量(T₁～T₆)计算以规定的压力(P)向工件(10)压入气体时的、作为自路径R₁泄漏的泄漏量的第一泄漏量(外泄漏量Q₁)、作为自路径R₂泄漏的泄漏量的第二泄漏量(外泄漏量Q₂)、作为自路径R₃泄漏的泄漏量的第三泄漏量(外泄漏量Q₃)、作为自路径R₄泄漏的泄漏量的第四泄漏量(内泄漏量q₁)、作为自路径R₅泄漏的泄漏量的第五泄漏量(内泄漏量q₂)、作为自路径R₆泄漏的泄漏量的第六泄漏量(内泄漏量q₃)。

主权项

一种泄漏试验方法，是工件的泄漏试验方法，该工件具有作为被划分出的三个空隙部的第一空间、第二空间和第三空间，该工件可能具有：连通上述第一空间和外部的第一外部连通路径；连通上述第二空间和外部的第二外部连通路径；连通上述第三空间和外部的第三外部连通路径；连通上述第一空间和上述第二空间的第一内部连通路径；连通上述第二空间和上述第三空间的第二内部连通路径；以及连通上述第三空间和上述第一空间的第三内部连通路径；其特征在于，上述泄漏试验方法具有：第一工序，以规定的压力将气体压入上述第一空间，获取作为自上述第一内部连通路径、上述第三内部连通路径和上述第一外部连通路径漏出的上述气体的总量的第一总泄漏量；第二工序，以规定的压力将气体压入上述第二空间，获取作为自上述第一内部连通路径、上述第二内部连通路径和上述第二外部连通路径漏出的上述气体的总量的第二总泄漏量；第三工序，以规定的压力将气体压入上述第三空间，获取作为自上述第二内部连通路径、上述第三内部连通路径和上述第三外部连通路径漏出的上述气体的总量的第三总泄漏量；第四工序，以规定的压力将气体压入上述第一空间、上述第二空间和上述第三空间，获取作为自上述第一外部连通路径、上述第二外部连通路径和上述第三外部连通路径漏出的上述气体的总量的第四总泄漏量；第五工序，以规定的压力将气体压入上述第一空间和上述第三空间，获取作为自上述第一外部连通路径、上述第三外部连通路径、上述第一内部连通路径和上述第二内部连通路径漏出的上述气体的总量的第五总泄漏量；第六工序，以规定的压力将气体压入上述第一空间和上述第二空间，获取作为自上述第一外部连通路径、上述第二外部连通路径、上述第二内部连通路径和上述第三内部连通路径漏出的上述气体的总量的第六总泄漏量；计算工序，基于获取到的上述第一总泄漏量至第六总泄漏量，计算以规定的压力将上述气体压入上述工件的情况下的、作为自上述第一外部连通路径泄漏的泄漏量的第一泄漏量、作为自上述第二外部连通路径泄漏的泄漏量的第二泄漏量、作为自上述第三外部连通路径泄漏的泄漏量的第三泄漏量、作为自上述第一内部连通路径泄漏的泄漏量的第四泄漏量、作为自上述第二内部连通路径泄漏的泄漏量的第五泄漏量以及作为自上述第三内部连通路径泄漏的泄漏量的第六泄漏量；以及判定工序，基于计算出的上述第一泄漏量至第六泄漏量判定上述工件合格与否。