[实用新型]具有自洁式视窗的蒸镀设备有效
| 申请号： | 201320076057.0 | 申请日： | 2013-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN203187743U | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 黄世壬;陈君健;廖科峰;任常宝;黎胜;陈官璧;邱文鼎;曾昭隆 | 申请（专利权）人： | 生阳新材料科技（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广东国欣律师事务所 44221 | 代理人： | 李文 |
| 地址： | 315000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 视窗 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有自洁式视窗的蒸镀设备，其特征在于，包含有：
一腔体，具有一内部腔室及一视窗口，该视窗口贯穿该腔体的内、外壁面，使该内部腔室经由该视窗口与外界相通；
一支撑座，固定于该腔体的外壁面且具有一安装槽，该安装槽连通该腔体的视窗口；
一透明视窗板，固定于该支撑座的安装槽内且正对该腔体的视窗口；以及
一加热器，设于透明视窗板，用以对该透明视窗板进行加热。
2.根据权利要求1所述的具有自洁式视窗的蒸镀设备，其特征在于，更包含有一压板及一隔热材，该压板贴抵于该支撑座的表面，该隔热材设于该压板及该加热器之间。
3.根据权利要求1或2所述的具有自洁式视窗的蒸镀设备，其特征在于，该腔体与该支撑座之间设有一密封圈。
4.根据权利要求1所述的具有自洁式视窗的蒸镀设备，其特征在于，该支撑座由金属材质所制成。
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