[发明专利]一种以激光微位移传感器为测量元件的微铣削振动精密测量系统

权利要求书

1.一种微铣削振动精密测量系统，包括激光微位移传感器、多自由度调节激光位移传感器支架、激光位移控制器、数据采集卡和具有PXI多功能控制器的计算机。

具有多自由度调节激光位移传感器支架安装在微铣床工作台上，激光微位移传感器设置在与多自由度调节激光位移传感器支架上；激光微位移传感器在多自由度调节激光位移传感器支架上的位置调节，测量X、Y、Z任一方向振动情况；激光微位移传感器和激光位移控制器相连，激光位移控制器和数据采集卡相连，数据采集卡安装在计算机内部；

通过多自由度调节激光位移传感器支架调节激光微位移传感器位置使激光传感器输出的光斑落在电主轴夹具上，调节激光微位移传感器与电主轴夹具在Z方向的距离，使激光微位移传感器能准确、稳定输出位移信号；激光微位移传感器采集刀具和工件之间相对振动信号，由激光微位移传感器控制器转为电信号，由数据采集卡转换为数字量送到计算机，计算机将数字量转化为位移信号，通过绘制位移时域及频域曲线，获得振动情况。