[发明专利]对准装置

权利要求书

1.一种对准装置，其特征在于：包括照明模块、干涉模块和探测模块，所述干涉模块至少包括一组科斯特（Koster）棱镜，多个波长的光源发出的光束通过所述照明模块输出照明光束，所述照明光束通过所述干涉模块入射到对准标记，所述干涉模块还通过所述科斯特（Koster）棱镜将所述对准标记衍射得到的对称的正、负极次衍射光进行重合形成探测光，所述探测光被所述探测模块转化为干涉信号并进行收集，从而通过收集得到的干涉信号的信息可以得到所述对准标记的位置信息。

2.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述照明模块包括光纤耦合器、多路转换器和两个单模保偏光纤，多个波长的光源通过一个所述单偏保偏光纤的传输进入所述光纤耦合器，所述光纤耦合器将多个光源进行耦合后依次经过所述多路转换器和另一个所述单模保偏光纤，进而输出多波长的照明光束。

3.如权利要求2所述的对准装置，其特征在于：所述照明模块还包括偏振片和透镜，所述照明光束通过所述偏振片变成线偏正光后通过所述透镜进入所述干涉模块。

4.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于，所述照明模块输出的照明光束为线偏振光。

5.如权利要求4所述的对准装置，其特征在于：所述干涉模块还包括一个四分之一波片，变为线偏振光的照明光束通过所述四分之一波片转变为圆偏振光后入射到所述对准标记，而且所述对准标记通过衍射得到了对称的正、负极次衍射光后，均通过所述四分之一波片转变为线偏振光的正、负极次衍射光后射入所述科斯特（Koster）棱镜。

6.如权利要求5所述的对准装置，其特征在于：所述干涉模块还包括一个透镜和一个反射棱镜，所述照明光束通过所述反射棱镜入射到所述四分之一波片上，所述正、负极次衍射光经过所述透镜后入射到所述四分之一波片上。

7.如权利要求5所述的对准装置，其特征在于：所述干涉模块还包括一个二分之一波片，所述负极次衍射光经过所述四分之一波片后还通过所述二分之一波片转变九十度偏振方向后入射到所述科斯特（Koster）棱镜。

8.如权利要求1所述的对准装置，其特征在于：所述科斯特（Koster）棱镜包括两个直角三棱镜，所述两个直角三棱镜的一个直角边面互相胶合，且所述正、负极次衍射光分别从所述两个直角三棱镜另一个直角边面入射到两个直角三棱镜中，且在所述两个直角三棱镜中实现重合，形成所述探测光，所述探测光从其中一个直角三棱镜的斜边面射出进入所述探测模块。

9.如权利要求8所述的对准装置，其特征在于：所述两个直角三棱镜的互相胶合的直角边面镀有偏振分光介质膜，使得所述正极次衍射光经过对应的直角三棱镜的斜边面反射后能够穿过所述偏振分光介质膜进入到另一个直角三棱镜，而负极次衍射光入射到所述偏振分光介质膜后能够反射到所在直角三棱镜的斜边面，且正、负极次衍射光在经过所述偏振分光介质膜后实现重合，形成所述探测光，不同波长的探测光从其中一个直角三棱镜的斜边面射出后以不同的角度散射进入所述探测模块。

10.如权利要求8或9所述的对准装置，其特征在于：所述两个直角三棱镜的正、负极次衍射光入射面的顶角α的大小同时满足以下公式：

3α-90<min{arcsin(1ni)};]]>

其中，max{}表示取最大值，min{}表示取最小值，n_i表示不同波长的探测光在科斯特（Koster）棱镜中的折射率，i与不同波长的探测光对应，顶角α亦即直角三棱镜的斜边与平行于入射到所述斜边面的衍射光的直角边面的夹角。