[发明专利]准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构

说明书

技术领域

本发明属于准单晶铸锭炉技术领域，特别涉及一种铸锭炉的保温体内部热场结构。

背景技术

在准单晶铸锭炉上采用诱导的方式，通过合理地热场控制生产出的具有高转换率的准单晶硅片。现在国内或国外准单晶铸锭炉加热方式采用美国GT铸锭炉五面式加热方式德国ALD铸锭炉上下加热方式，以上两种加热方式都有不足之处：1、美国GT铸锭炉五面式加热采用上加热器和四个侧面加热器，无下加热器，在准单晶铸锭过程中，熔化硅料时间长、整个热场横向热场温度梯度大，造成侧面籽晶熔化过多，不利于准单晶的生长。2、德国ALD铸锭炉采用上下加热器，无四个侧面加热器，在准单晶铸锭过程中，侧面热场温度跟不上，不利于准单晶生长。在准单晶的结晶过程中，控温时保温体内部的上下温度梯度控制困难，不能满足铸锭炉生产单晶硅的工艺要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，以满足在单晶硅生产中保温体内部保持合理的温度梯度，从而提高设备的生产效率。

为实现上述目的，本发明采用以下方案：

一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板，所述保温体为箱体型，其内部的上方固定设有上发热体，保温体四周固定设有侧发热体，保温体中部设有石墨平台，石墨平台上平面置有石英坩埚，石英坩埚的四周设有坩埚护板，坩埚护板的上方设有坩埚盖板；所述石墨平台底部设有下发热体。

所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接，可随升降立柱一起上下移动，形成工艺要求所需的动态热场。

本发明结构合理，形成了一个动态六面热场，六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体，三组发热体均可独立控制。避免以上两种已有技术中的不足之处，使个热场横向热场梯度小，熔化硅料时间短，提高单晶率，缩短整个工艺周期，提高了设备的生产效率，可节约能耗、降低整个铸锭成本。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

以下结合实施例及其附图对本发明做进一步详细的说明：

如图1所示，一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构，包括上保温体7、下保温体6、侧发热体4、上发热体9、石墨平台1、升降立柱5、石英坩埚3、坩埚护板10、坩埚盖板8和下发热体2。

所述上保温体7、下保温体6组合为箱体型，其内部的上方固定设有上发热体9，上保温体7四周固定设有侧发热体4，下保温体6中部设有石墨平台1，石墨平台1上平面置有石英坩埚3，石英坩埚3的四周设有坩埚护板10，坩埚护板10的上方设有坩埚盖板8；所述石墨平台1底部固定设有下发热体2。

所述下发热体2、石墨平台1与升降机构的升降立柱5连接一起，可以随升降立柱5上下移动。

以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干变型和改进，这些也应视为属于本发明的保护范围。