[发明专利]用于软光刻的硅酮橡胶材料

权利要求书

1.一种用于形成硅酮橡胶类材料的成套部件，该成套部件包括：

第一组成，其包括聚硅氧烷前驱体，该聚硅氧烷前驱体包括至少一种功能T型支链和/或功能Q型支链聚硅氧烷前驱体，其中所述至少一种功能T型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能T型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能T型支链聚硅氧烷前驱体及其混合物，并且/或者其中所述至少一种功能Q型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能Q型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能Q型支链聚硅氧烷前驱体及其混合物；以及

第二组成，其包括氢化物功能线性聚硅氧烷和乙烯基功能线性聚硅氧烷的混合物，其中所述至少一种乙烯基功能线性聚硅氧烷是至少5%的乙烯基功能。

2.根据权利要求1的成套部件，其中所述至少一种氢化物功能线性聚硅氧烷是至少30%的氢化物功能。

3.根据权利要求2的成套部件，其中所述至少一种氢化物功能线性聚硅氧烷是介于30%和50%之间的氢化物功能。

4.根据权利要求1-3中任意一项的成套部件，其中氢化物功能线性聚硅氧烷和乙烯基功能线性聚硅氧烷是按在2:10至8:10的范围内，优选地在5:10至6:10的范围内的比率存在。

5.根据权利要求1-4中任意一项的成套部件，其中乙烯基功能线性聚硅氧烷具有下述结构式：

，

其中m和n的比率是在20:1至10:1的范围内，并且其中乙烯基功能线性聚硅氧烷的分子量是在800至40000道尔顿的范围内。

6.根据权利要求1-5中任意一项的成套部件，其中氢化物功能线性聚硅氧烷具有下述结构式：

，

其中m和n的比率是在1:4至1:1的范围内，并且其中氢化物功能线性聚硅氧烷的分子量是在800至40000道尔顿的范围内，优选地在1000至20000道尔顿的范围内。

7.根据权利要求1-6中任意一项的成套部件，其中功能T型支链和/或功能Q型支链聚硅氧烷前驱体选自下述成分：

成分1，

成分2，

成分3。

8.一种由权利要求1-7中任意一项的成套部件通过将第二组成添加到第一组成而形成的组成。

9.一种硅酮橡胶类材料，其包括由至少一种功能线性聚硅氧烷交联的至少一种功能T型支链和/或功能Q型支链聚硅氧烷前驱体，其中：

所述至少一种功能T型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能T型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能T型支链聚硅氧烷前驱体及其混合物，并且/或者其中所述至少一种功能Q型支链聚硅氧烷前驱体选自由下述组成的群组：氢化物功能Q型支链聚硅氧烷前驱体、乙烯基功能Q型支链聚硅氧烷前驱体及其混合物；

所述至少一种功能线性聚硅氧烷是氢化物功能线性聚硅氧烷和乙烯基功能线性聚硅氧烷的混合物；以及

该硅酮橡胶类材料杨氏模量在7MPa至80MPa的范围内，其中所述至少一种乙烯基功能线性聚硅氧烷是至少5%的乙烯基功能。

10.根据权利要求9的硅酮橡胶类材料，其中所述至少一种氢化物功能线性聚硅氧烷是至少30%的氢化物功能，优选地是介于30%和50%之间的氢化物功能。

11.根据权利要求9的硅酮橡胶类材料，其中氢化物功能线性聚硅氧烷和乙烯基功能线性聚硅氧烷是按在2:10至8:10的范围内，优选地在5:10至6:10的范围内的比率存在。

12.根据权利要求9的硅酮橡胶类材料，其中乙烯基功能线性聚硅氧烷具有下述结构式：

，

其中m和n的比率是在20:1至10:1的范围内，并且其中乙烯基功能线性聚硅氧烷的分子量是在800至40000道尔顿的范围内。

13.根据权利要求9的硅酮橡胶类材料，其中氢化物功能线性聚硅氧烷具有下述结构式：

，

其中m和n的比率是在1:4至1:1的范围内，并且其中氢化物功能线性聚硅氧烷的分子量是在800至40000道尔顿的范围内，优选地在1000至20000道尔顿的范围内。