[发明专利]双摆臂式固晶机焊头机构及固晶机

说明书

技术领域

本发明涉及一种双摆臂式固晶机焊头机构及固晶机。

背景技术

固晶机焊头机构的主要功能是将已经切割分离的晶片从晶圆上吸起，传送并放置于对应的工作载体上进行固晶焊接。为实现以上功能，焊头机构需要精确、平稳地往返于取晶处和固晶处两个位置，完成拾取、传送、粘贴焊接晶片等动作。由于晶圆直径较大，这要求焊头机构传送晶片的行程较大，而焊头机构取晶和固晶的行程相对较短。

在公告号为CN202651079U、名称为“双摆臂式直驱固晶机”的中国专利中公开了一种双摆臂式固晶机。该专利中采用旋转电机带动摆臂连接板及安装座进行旋转运动，进而带动安装在安装座上的摆臂机构做旋转运动。音圈电机安装在靠近摆臂机构的安装座侧，可以带动摆臂机构沿旋转电机轴向做直线运动，进而带动固定在摆臂末端的吸嘴轴向运动。其采用的双摆臂结构可以在一个工作周期中完成两次取晶及固晶动作。

在该专利中，固晶机焊头机构的吸嘴部件和摆臂机构中的音圈电机是通过摆臂进行联接的。在吸嘴处摆臂为悬臂梁结构，导致实际工作时摆臂机构中的音圈电机必须驱动较重的摆臂才能带动吸嘴部件完成取晶和固晶的动作。特别是当摆臂的长度较长、重量较大时，吸嘴的上下运动精度将下降。且摆臂重量的增大会降低摆臂机构的固有频率，导致摆臂机构在高速工作时的动态响应特性变差，进而影响其高频工作特性，限制了其生产效率进一步提升的空间。

发明内容

本发明的一个目的是提出一种精度高的双摆臂式固晶机焊头机构。

本发明的另一个目的是提出一种摆臂运动平稳、准确的双摆臂式固晶机焊头机构。

本发明的再一个目的是提出一种精度高的固晶机。

为达此目的，一方面，本发明采用以下技术方案：

一种双摆臂式固晶机焊头机构，所述焊头机构包括旋转运动驱动装置、连接在所述旋转运动驱动装置驱动轴端部上的第一摆臂和第二摆臂、设置在第一摆臂端部的第一直线运动驱动装置、设置在第二摆臂端部的第二直线运动驱动装置、设置在第一直线运动驱动装置驱动轴端部上的第一吸嘴3、以及设置在第二直线运动驱动装置驱动轴端部上的第二吸嘴。

特别是，所述第一摆臂和第二摆臂为同一根摆臂本体4上的两段；所述摆臂本体4的中部设有连接孔，所述旋转运动驱动装置驱动轴端部安装在所述连接孔内。

特别是，所述摆臂本体为一字形柱体，所述摆臂本体以连接孔为中心呈对称结构。

特别是，所述摆臂本体的运动惯性主轴和摆臂主体的旋转中心重合。

特别是，所述旋转运动驱动装置为旋转电机1。

特别是，所述第一直线运动驱动装置和第二直线运动驱动装置都为直线伺服电机。

特别是，所述第一直线运动驱动装置和第二直线运动驱动装置内分别集成有位移传感器。

另一方面，本发明采用以下技术方案：

一种固晶机，所述固晶机包括上述的双摆臂式固晶机焊头机构。

本发明双摆臂式固晶机焊头机构中利用直线运动驱动装置驱动轴端部上的吸嘴，控制更直接，精度更高。双摆臂为同一根摆臂本体上的两段，摆臂本体的中间位置设连接孔用来连接旋转运动驱动装置驱动轴的端部，摆臂运动更平稳、更准确。摆臂本体的运动惯性主轴和摆臂主体的旋转中心重合，保证高速工作时不会出现偏心运转的情况。

本发明固晶机上安装有高性能的双摆臂式固晶机焊头机构，结构合理，取晶、固晶效果好且效率高。摆臂本体的运动惯性主轴和旋转电机的旋转中心同轴，确保了摆臂本体在高速工作时的动平衡特性，提高了摆臂本体旋转运动的精度。同时，固晶机焊头机构中采用直线伺服电机来直接连接吸嘴，确保了吸嘴做轴向直线运动时不受摆臂重量及长度的影响。所以，本发明固晶机的摆臂本体可以比通常的摆臂更长，扩大了固晶机的工作范围。

附图说明

图1是本发明优选实施例一的结构示意图；

图2是图1所示优选实施例的爆炸结构示意图。

图中标记为：

1、旋转电机；2、第一直线伺服电机；3、第一吸嘴；4、摆臂本体。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

优选实施例一：