[发明专利]一种掩膜版回推机构

说明书

技术领域

本发明涉及掩膜传输系统，尤其涉及一种掩膜版回推机构。

背景技术

掩模传输系统应用于光刻机等众多半导体设备中，作为这些设备对外的物料接口，并进行物料的预处理，这就需要掩模传输系统必须是可靠、高效，且自动化程度很高的，对于设备操作者而言，只需做最基本的动作，其他均由掩模传输系统完成。如图1所示，掩膜版1放置于版库中，所述版库包括前板2、支架3以及底板4，在掩模传输过程中，由于振动、工位变化等意外情况的发生，可能会导致掩模版1在版库中的位置发生变化，即，所述掩膜版1在所述支架3上的位置发生偏移，导致掩膜版1的前端距离所述前板2的距离产生偏差，此时，当机械手从版库中抓取掩膜版1时，将会对掩模版1造成损坏，无法保证掩模版1的零破版率。

发明内容

本发明提供一种掩膜版回推机构，以解决现有技术中掩膜版在版库中的位置发生偏移的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种掩膜版回推机构，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。

较佳地，所述推动机构包括推版、支架以及两连杆，所述推版与支架的两端分别通过所述连杆活动连接，所述支架固定于所述密封门上。

较佳地，所述推版通过连接板和螺栓与所述连杆连接。

较佳地，所述支架通过垫板和螺栓与所述密封门连接。

较佳地，所述推版采用无色有机玻璃板。

较佳地，所述连杆采用钢丝。

较佳地，所述推动机构还包括轴承，所述轴承通过铰链销固定于所述推版的底部。

较佳地，所述轴承为聚酰脂成型轴承。

较佳地，所述推动机构还包括上限位板、下限位板以及挡块，所述上限位板和下限位板分别固定于所述支架上，且所述上限位板和下限位板的位置分别与所述推版相对于所述支架最高和最低的位置相对应，所述挡块固定于所述支架上，与所述下限位板的位置相对应。

较佳地，所述下限位板上开有腰型孔，所述下限位板通过所述腰型孔固定于所述支架上。

较佳地，所述传动机构包括同步带和齿轮，所述电机通过所述同步带带动所述齿轮旋转，所述齿轮驱动所述曲柄连杆机构转动；所述曲柄连杆机构包括主动曲柄、从动曲柄以及曲柄连杆，所述主动曲柄与所述齿轮固定连接，所述主动曲柄通过所述从动曲柄带动所述曲柄连杆运动，所述曲柄连杆与所述密封门固定连接。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明提供的掩膜版回推机构，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。本发明利用所述电机的旋转驱动所述密封门的开合，并利用固定于所述密封门上的推动机构推动掩膜版，使其回复至初始位置，便于后续机械手的抓取动作。

附图说明

图1为掩膜版放置于版库中的结构示意图；

图2为本发明一具体实施方式的掩膜版回推机构的结构示意图；

图3为本发明一具体实施方式的推动机构的结构示意图；

图4a～4d为本发明一具体实施方式的掩膜版回推机构推动掩膜版至初始位置的动作流程图。

图1中：1-掩膜版、2-前板、3-支架、4-底板；

图2至4d中：100-旋转机构、110-电机、120-同步带、130-齿轮、140-曲柄连杆机构、141-主动曲柄、142-从动曲柄、143-曲柄连杆、200-推动机构、210-推版、220-支架、230-连杆、240-连接板、250-垫板、260-轴承、270-铰链销、280a-上限位板、280b-下限位板、290-挡块、300-密封门、310-螺栓、400-版库、410-前板、420-支架、430-底板、500-掩膜版。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。