[发明专利]一种掩膜版回推机构

权利要求书

1.一种掩膜版回推机构，其特征在于，包括旋转机构和推动机构，所述旋转机构包括电机、传动机构以及曲柄连杆机构，所述曲柄连杆机构与密封门连接，所述电机通过所述传动机构驱动所述曲柄连杆机构转动，进而驱动连接在所述曲柄连杆机构上的密封门运动；所述推动机构固定于所述密封门上。

2.如权利要求1所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述推动机构包括推版、支架以及两连杆，所述推版与支架的两端分别通过所述连杆活动连接，所述支架固定于所述密封门上。

3.如权利要求2所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述推版通过连接板和螺栓与所述连杆连接。

4.如权利要求2所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述支架通过垫板和螺栓与所述密封门连接。

5.如权利要求2所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述推版采用无色有机玻璃板。

6.如权利要求2所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述连杆采用钢丝。

7.如权利要求2所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述推动机构还包括轴承，所述轴承通过铰链销固定于所述推版的底部。

8.如权利要求7所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述轴承为聚酰脂成型轴承。

9.如权利要求2所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述推动机构还包括上限位板、下限位板以及挡块，所述上限位板和下限位板分别固定于所述支架上，且所述上限位板和下限位板的位置分别与所述推版相对于所述支架最高和最低的位置相对应，所述挡块固定于所述支架上，与所述下限位板的位置相对应。

10.如权利要求9所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述下限位板上开有腰型孔，所述下限位板通过所述腰型孔固定于所述支架上。

11.如权利要求1所述的掩膜版回推机构，其特征在于，所述传动机构包括同步带和齿轮，所述电机通过所述同步带带动所述齿轮旋转，所述齿轮驱动所述曲柄连杆机构转动；所述曲柄连杆机构包括主动曲柄、从动曲柄以及曲柄连杆，所述主动曲柄与所述齿轮固定连接，所述主动曲柄通过所述从动曲柄带动所述曲柄连杆运动，所述曲柄连杆与所述密封门固定连接。