[发明专利]一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法

权利要求书

1.一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，其步骤包括：a、提供一衬底；b、将铜、锌、锡三种金属沉积在衬底上，形成金属前躯体；c、在金属前躯体上沉积含有锑元素的膜层作为掺杂层；d、将金属前躯体及掺杂层在含硫的气氛下热处理，此过程中硫元素与铜锌锡形成铜锌锡硫薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤a中，所述衬底为玻璃、硅片、不锈钢、聚酰亚胺中的一种。

3.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤b中，所述的铜、锌、锡三种金属沉积方式为叠层沉积或者三种金属的合金沉积。

4.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤b中，所述铜、锌、锡三种合金的元素化学计量比通过膜层厚度调节达到的比例为2：1：1。

5.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤c中，所述的含有锑元素的膜层作为掺杂层，锑元素的存在形式为单质或者化合物。

6.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤c中，所述的掺杂层在步骤b制得的金属前驱体之上或者在金属前驱体和衬底之间。

7.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤d中，所述含硫的气氛为硫单质或者硫化物。

8.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤d中，所述热处理的温度为100℃～600℃。

9.根据权利要求1所述的一种含有掺杂工艺的铜锌锡硫薄膜制备方法，其特征是，在步骤d中，热处理过程需用的保护气体为氮气或氩气。