[发明专利]太阳能电池用基板的制造方法和太阳能电池有效
申请号: | 201280007026.8 | 申请日: | 2012-01-27 |
公开(公告)号: | CN103339738A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 高远秀尚;坂田功;间濑恵二;石桥正三;原田高行;近藤庸市;浅井秀之 | 申请(专利权)人: | 株式会社不二制作所 |
主分类号: | H01L31/04 | 分类号: | H01L31/04 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 周善来;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 用基板 制造 方法 | ||
1.一种半导体基板的制造方法,其特征在于,
所述半导体基板的制造方法包括:
喷砂工序,针对通过对硅锭进行切片制造出的作为切片状态的硅基板的第一面,通过喷砂处理进行表面处理;以及
表面处理工序,在所述喷砂工序之后,利用含有氢氟酸和硝酸中的任意一种以上的腐蚀溶液,对所述硅基板进行表面处理。
2.根据权利要求1所述的半导体基板的制造方法,其特征在于,所述半导体基板的制造方法还包括切片工序,
所述切片工序通过对硅锭进行切片,制造所述第一面和第二面对从600nm到800nm范围的光的波长具有28%以上36%以下的反射率的硅基板,所述第二面是与所述第一面相反一侧的面,
通过所述切片工序制造所述作为切片状态的硅基板。
3.根据权利要求2所述的半导体基板的制造方法,其特征在于,所述切片工序使用了固定磨粒方式的丝,
通过电沉积、树脂、金属或利用了它们的复合的方法,把金刚石磨粒固定在金属丝表面,得到所述固定磨粒方式的丝。
4.根据权利要求2或3所述的半导体基板的制造方法,其特征在于,在利用所述腐蚀溶液进行的所述表面处理工序中,利用所述腐蚀溶液对所述第一面和所述第二面同时进行表面处理。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的半导体基板的制造方法,其特征在于,所述硅锭是多晶硅。
6.一种太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池是使用半导体基板制造出来的,所述半导体基板是通过权利要求1至5中任一项所述的半导体基板的制造方法制造出来的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的