[实用新型]气体浓度控制装置

权利要求书

1.一种气体浓度控制装置，其特征在于，所述装置包括：

进口气路单元，用于控制、过滤、调节以及显示进口气体压力，并将处理后的气体送入源瓶；

源瓶，用于存放源气体；

出口气路单元，用于控制以及显示出口气体压力，并将源瓶出口的混合气体送入气体浓度检测单元；

气体浓度检测单元，用于检测气体的携带源浓度，并将混合气体通过流量控制单元；

流量控制单元，用于控制混合气体流量，并将混合气体通入工艺腔室。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述进口气路单元中，依次连接有单向阀，手动阀，过滤器，调压阀，压力表及其显示单元，气动阀。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述出口气路单元中，依次连接有压力表及其显示单元，手动阀。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气体浓度检测单元为气体浓度传感器。

5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述流量控制单元为质量流量控制器。