[实用新型]一种用于拉制4寸区熔单晶硅加热线圈有效
| 申请号： | 201220233078.4 | 申请日： | 2012-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN202658266U | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 刘剑 | 申请（专利权）人： | 刘剑 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 332000 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 拉制 寸区熔 单晶硅 加热 线圈 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于拉制4寸区熔单晶硅加热线圈，包括线圈盘体(5)，其特征在于：位于线圈盘体(5)的线圈中心(2)外围设置线圈台阶(3)，同时，所述线圈盘体(5)外围环绕设置环形线圈水路(4)，此线圈盘体(5)外径设置为70mm-190mm。
2.根据权利要求1所述的用于拉制4寸区熔单晶硅加热线圈，其特征在于：所述线圈台阶(3)的高度范围为1mm-3mm。
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